【为(wei)什么(me)要在(zai)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)中(zhong)镀(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)】：1.镀(du)的(de)(de)过程中(zhong)不会受(shou)空(kong)(kong)(kong)气(qi)(qi)分子碰撞(zhuang),有较大(da)的(de)(de)动量(liang)到达待镀(du)件表(biao)(biao)面(mian)2.防止气(qi)(qi)体(ti)(ti)“污(wu)染”.如(ru)：镀(du)金(jin)属膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)时可(ke)以防止氧化(hua)3.成膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)过程不受(shou)气(qi)(qi)体(ti)(ti)影响,致密(mi)牢固(gu)(gu)4.真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)（负压(ya)）状态下,镀(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)材(cai)(cai)(cai)料(liao)的(de)(de)熔(rong)点教常压(ya)下低(di),易于(yu)融化(hua)蒸(zheng)发（对(dui)于(yu)蒸(zheng)发类型(xing)的(de)(de)镀(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)）真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)镀(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)技(ji)(ji)(ji)术(shu)是(shi)一(yi)(yi)种新颖的(de)(de)材(cai)(cai)(cai)料(liao)合成与加(jia)工的(de)(de)新技(ji)(ji)(ji)术(shu)，是(shi)表(biao)(biao)面(mian)工程技(ji)(ji)(ji)术(shu)领(ling)域(yu)的(de)(de)重(zhong)要组成部分。真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)镀(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)技(ji)(ji)(ji)术(shu)是(shi)利用物(wu)理、化(hua)学手段(duan)将固(gu)(gu)体(ti)(ti)表(biao)(biao)面(mian)涂覆(fu)一(yi)(yi)层特殊(shu)性能(neng)(neng)的(de)(de)镀(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)，从而使固(gu)(gu)体(ti)(ti)表(biao)(biao)面(mian)具有耐磨损、耐高(gao)温、耐腐蚀、抗(kang)氧化(hua)、防辐(fu)射、导电、导磁、绝缘和(he)装饰等许(xu)多优(you)于(yu)固(gu)(gu)体(ti)(ti)材(cai)(cai)(cai)料(liao)本(ben)身的(de)(de)优(you)越性能(neng)(neng)，达到提高(gao)产(chan)品质(zhi)量(liang)、延长(zhang)产(chan)品寿命、节约能(neng)(neng)源和(he)获(huo)得明显技(ji)(ji)(ji)术(shu)经济(ji)效益的(de)(de)作用。因此真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)镀(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)技(ji)(ji)(ji)术(shu)被誉为(wei)Zui具发展(zhan)前途的(de)(de)重(zhong)要技(ji)(ji)(ji)术(shu)之一(yi)(yi)，并已(yi)在(zai)高(gao)技(ji)(ji)(ji)术(shu)产(chan)业化(hua)的(de)(de)发展(zhan)中(zhong)展(zhan)现(xian)出诱人的(de)(de)市(shi)场前景。国产(chan)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)镀(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)设备厂商推荐。上海真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)镀(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)设备怎么(me)跑业务

【真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)镀膜(mo)设(she)备(bei)使(shi)用(yong)步(bu)骤】1电(dian)控(kong)柜的操(cao)作1)开(kai)(kai)(kai)水泵(beng)、气源(yuan)(yuan)(yuan)2)开(kai)(kai)(kai)总电(dian)源(yuan)(yuan)(yuan)3)开(kai)(kai)(kai)维持(chi)泵(beng)、真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)计(ji)电(dian)源(yuan)(yuan)(yuan)，真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)计(ji)档位置(zhi)(zhi)V1位置(zhi)(zhi)，等待其值小(xiao)于(yu)(yu)10后，再进入下一步(bu)操(cao)作。约需5分(fen)钟。4)开(kai)(kai)(kai)机械(xie)(xie)泵(beng)、予抽，开(kai)(kai)(kai)涡(wo)轮分(fen)子(zi)(zi)(zi)(zi)泵(beng)电(dian)源(yuan)(yuan)(yuan)、启动，真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)计(ji)开(kai)(kai)(kai)关(guan)换到V2位置(zhi)(zhi)，抽到小(xiao)于(yu)(yu)2为(wei)止(zhi)，约需20分(fen)钟。5)观察涡(wo)轮分(fen)子(zi)(zi)(zi)(zi)泵(beng)读数(shu)到达250以(yi)后，关(guan)予抽，开(kai)(kai)(kai)前机和高阀继续(xu)抽真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)，抽真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)到达一定程度后才(cai)能(neng)开(kai)(kai)(kai)右(you)边(bian)的高真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)表(biao)头，观察真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)到达2×10-3以(yi)后才(cai)能(neng)开(kai)(kai)(kai)电(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)枪(qiang)电(dian)源(yuan)(yuan)(yuan)。2DEF-6B电(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)枪(qiang)电(dian)源(yuan)(yuan)(yuan)柜的操(cao)作1)打开(kai)(kai)(kai)总电(dian)源(yuan)(yuan)(yuan)2)同时(shi)开(kai)(kai)(kai)电(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)枪(qiang)控(kong)制(zhi)Ⅰ和电(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)枪(qiang)控(kong)制(zhi)Ⅱ电(dian)源(yuan)(yuan)(yuan)：按(an)电(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)枪(qiang)控(kong)制(zhi)Ⅰ电(dian)源(yuan)(yuan)(yuan)、延时(shi)开(kai)(kai)(kai)关(guan)，延时(shi)、电(dian)源(yuan)(yuan)(yuan)及(ji)保(bao)护灯(deng)(deng)亮(liang)，三分(fen)钟后延时(shi)及(ji)保(bao)护灯(deng)(deng)灭(mie)，若后门未(wei)关(guan)好或水流继电(dian)器有故障，保(bao)护灯(deng)(deng)会常亮(liang)。3)开(kai)(kai)(kai)高压，高压会达到10KV以(yi)上(shang)，调节束流可到200mA左右(you)，帘栅为(wei)20V/100mA，灯(deng)(deng)丝电(dian)流1.2A，偏转电(dian)流在1~1.7之间(jian)摆动。3关(guan)机顺(shun)序(xu)1)关(guan)高真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)表(biao)头、关(guan)分(fen)子(zi)(zi)(zi)(zi)泵(beng)。2)待分(fen)子(zi)(zi)(zi)(zi)泵(beng)显示到50时(shi)，依(yi)次关(guan)高阀、前级、机械(xie)(xie)泵(beng)，这期间(jian)约需40分(fen)钟。3)到50以(yi)下时(shi)，再关(guan)维持(chi)泵(beng)。天(tian)津真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)镀膜(mo)设(she)备(bei)定制(zhi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)镀膜(mo)设(she)备(bei)日常怎么维护？

【真空镀(du)(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)产品常(chang)见不良(liang)分(fen)析及(ji)改(gai)(gai)善(shan)对(dui)(dui)策之膜(mo)(mo)(mo)(mo)内白雾(wu)】： 白雾(wu)形(xing)成在膜(mo)(mo)(mo)(mo)内，无法(fa)用擦(ca)拭(shi)方法(fa)去(qu)除。 可能(neng)成因： 1. 基片(pian)(pian)脏(zang) 2. 镜片(pian)(pian)表面(mian)腐(fu)蚀(shi)污(wu)染 3. 膜(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)与膜(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)之间、膜(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)与基片(pian)(pian)之间的(de)(de)(de)(de)匹配 4. 氧(yang)化(hua)物充氧(yang)不够 5. 第(di)yi层(ceng)(ceng)氧(yang)化(hua)锆膜(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)，可能(neng)对(dui)(dui)某些基片(pian)(pian)产生白晕现象 6. 基片(pian)(pian)进(jin)罩(zhao)前(qian)（洗(xi)净(jing)(jing)后(hou)）受潮气污(wu)染 7. 洗(xi)净(jing)(jing)或(huo)擦(ca)拭(shi)不良(liang)，洗(xi)净(jing)(jing)痕迹(ji)，擦(ca)拭(shi)痕迹(ji) 8. 真空室(shi)脏(zang)、水汽过重 9. 环境(jing)湿度大 改(gai)(gai)善(shan)对(dui)(dui)策：基片(pian)(pian)本身(shen)的(de)(de)(de)(de)问题可能(neng)时主要的(de)(de)(de)(de)镀(du)(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)室(shi)尽(jin)量弥补，镀(du)(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)本身(shen)Zui大的(de)(de)(de)(de)可能(neng)室(shi)膜(mo)(mo)(mo)(mo)料(liao)匹配问题。 1. 改(gai)(gai)进(jin)膜(mo)(mo)(mo)(mo)系，第(di)yi层(ceng)(ceng)不用氧(yang)化(hua)锆 2. 尽(jin)量减少真空室(shi)开门时间 3. 真空室(shi)在更(geng)换护板、清洁后(hou)，Zui好能(neng)空罩(zhao)抽(chou)真空烘(hong)烤(kao)一下，更(geng)换的(de)(de)(de)(de)护板等真空室(shi)部件(jian)必须干燥、干净(jing)(jing) 4. 改(gai)(gai)善(shan)环境(jing) 5. 妥善(shan)保(bao)护进(jin)罩(zhao)前(qian)在伞(san)片(pian)(pian)上(shang)的(de)(de)(de)(de)镜片(pian)(pian)，免(mian)受污(wu)染 6. 改(gai)(gai)善(shan)洗(xi)净(jing)(jing)、擦(ca)拭(shi)效果 7. 改(gai)(gai)善(shan)膜(mo)(mo)(mo)(mo)匹配（考虑第(di)yi层(ceng)(ceng)用Al2O3） 8. 改(gai)(gai)善(shan)膜(mo)(mo)(mo)(mo)充氧(yang)和蒸发(fa)速率（降(jiang)低） 9. 加(jia)快前(qian)工(gong)程的(de)(de)(de)(de)流程。前(qian)工(gong)程对(dui)(dui)已加(jia)工(gong)光(guang)面(mian)的(de)(de)(de)(de)保(bao)护加(jia)强(qiang)。 10. 抛(pao)光(guang)加(jia)工(gong)完成的(de)(de)(de)(de)光(guang)面(mian)，必须立即清洁干净(jing)(jing)，不能(neng)有抛(pao)光(guang)粉或(huo)其他杂质附(fu)着干结。

【真(zhen)空镀膜(mo)(mo)产品常(chang)见不(bu)良分(fen)析(xi)及改(gai)善(shan)(shan)(shan)对(dui)策(ce)之(zhi)膜(mo)(mo)外(wai)(wai)自(zi)雾(wu)】：现象：镀膜(mo)(mo)完(wan)成(cheng)后(hou)，表(biao)面(mian)(mian)有一些(xie)淡(dan)(dan)淡(dan)(dan)的(de)(de)白(bai)雾(wu)，用丙tong或(huo)(huo)混合(he)液擦拭(shi)，会有越擦越严重的(de)(de)现象。用氧化(hua)铈粉擦拭(shi)，可(ke)以擦掉(diao)或(huo)(huo)减轻(qing)。可(ke)能成(cheng)因有：1.膜(mo)(mo)结(jie)构问题，外(wai)(wai)层膜(mo)(mo)的(de)(de)柱(zhu)状结(jie)构松散，外(wai)(wai)层膜(mo)(mo)太粗(cu)糙2.蒸(zheng)发(fa)(fa)角过大，膜(mo)(mo)结(jie)构粗(cu)糙3.温差(cha)：镜片(pian)出罩时(shi)内外(wai)(wai)温差(cha)过大4.潮气：镜片(pian)出罩后(hou)摆放环境的(de)(de)潮气5.真(zhen)空室内POLYCOLD解(jie)(jie)冻时(shi)水汽过重6.蒸(zheng)镀中(zhong)充氧不(bu)完(wan)全，膜(mo)(mo)结(jie)构不(bu)均匀。7.膜(mo)(mo)与(yu)膜(mo)(mo)之(zhi)间(jian)的(de)(de)应力改(gai)善(shan)(shan)(shan)思路(lu)：膜(mo)(mo)外(wai)(wai)白(bai)雾(wu)成(cheng)因很(hen)多但各(ge)有特征，尽量对(dui)症下药。主要思路(lu)，一是把膜(mo)(mo)做的(de)(de)致密(mi)光(guang)滑些(xie)不(bu)容(rong)易吸(xi)附(fu)(fu)，二是改(gai)善(shan)(shan)(shan)环境减少(shao)吸(xi)附(fu)(fu)的(de)(de)对(dui)象。改(gai)善(shan)(shan)(shan)对(dui)策(ce)：1.改(gai)善(shan)(shan)(shan)膜(mo)(mo)系(xi)，外(wai)(wai)层加二氧化(hua)硅，使膜(mo)(mo)表(biao)面(mian)(mian)光(guang)滑，不(bu)易吸(xi)附(fu)(fu)。2.降低(di)出罩时(shi)的(de)(de)镜片(pian)温度3.改(gai)善(shan)(shan)(shan)充氧（加大），改(gai)善(shan)(shan)(shan)膜(mo)(mo)结(jie)构4.适(shi)当降低(di)蒸(zheng)发(fa)(fa)速率，改(gai)善(shan)(shan)(shan)柱(zhu)状结(jie)构5.离子辅助镀膜(mo)(mo)，改(gai)善(shan)(shan)(shan)膜(mo)(mo)结(jie)构6.加上Polycold解(jie)(jie)冻时(shi)的(de)(de)小充气阀(fa)7.从(cong)蒸(zheng)发(fa)(fa)源和夹具上想办法改(gai)善(shan)(shan)(shan)蒸(zheng)发(fa)(fa)角8.改(gai)善(shan)(shan)(shan)基片(pian)表(biao)面(mian)(mian)粗(cu)糙度9.注意Polycold解(jie)(jie)冻时(shi)的(de)(de)真(zhen)空度。真(zhen)空镀膜(mo)(mo)设备升级(ji)改(gai)造。

真(zhen)空镀(du)(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)机主要指一(yi)类需要在(zai)(zai)较高(gao)真(zhen)空度下进行的(de)(de)镀(du)(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)，具体(ti)包括很(hen)(hen)多种(zhong)(zhong)类，包括真(zhen)空电阻(zu)加热蒸(zheng)(zheng)发，电子(zi)枪(qiang)加热蒸(zheng)(zheng)发，磁控溅(jian)(jian)(jian)射(she)(she)，MBE分(fen)子(zi)束外(wai)延，PLD激(ji)光(guang)溅(jian)(jian)(jian)射(she)(she)沉积，离子(zi)束溅(jian)(jian)(jian)射(she)(she)等(deng)很(hen)(hen)多种(zhong)(zhong)。主要思路(lu)是(shi)分(fen)成(cheng)蒸(zheng)(zheng)发和(he)溅(jian)(jian)(jian)射(she)(she)两种(zhong)(zhong)。需要镀(du)(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)的(de)(de)被(bei)称(cheng)为基片，镀(du)(du)的(de)(de)材(cai)料被(bei)称(cheng)为靶材(cai)。 基片与靶材(cai)同(tong)在(zai)(zai)真(zhen)空腔中。蒸(zheng)(zheng)发镀(du)(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)一(yi)般是(shi)加热靶材(cai)使表面(mian)组分(fen)以原(yuan)子(zi)团或离子(zi)形(xing)式被(bei)蒸(zheng)(zheng)发出来。并(bing)且沉降在(zai)(zai)基片表面(mian)，通过成(cheng)膜(mo)(mo)(mo)(mo)过程(cheng)（散点－岛(dao)状结构-迷走结构-层状生长）形(xing)成(cheng)薄膜(mo)(mo)(mo)(mo)。 对于溅(jian)(jian)(jian)射(she)(she)类镀(du)(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)，可以简单理解为利用电子(zi)或高(gao)能(neng)激(ji)光(guang)轰(hong)击(ji)靶材(cai)，并(bing)使表面(mian)组分(fen)以原(yuan)子(zi)团或离子(zi)形(xing)式被(bei)溅(jian)(jian)(jian)射(she)(she)出来，并(bing)且终沉积在(zai)(zai)基片表面(mian)，经历成(cheng)膜(mo)(mo)(mo)(mo)过程(cheng)，终形(xing)成(cheng)薄膜(mo)(mo)(mo)(mo)。真(zhen)空镀(du)(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)设备怎么维(wei)修。福建真(zhen)空镀(du)(du)膜(mo)(mo)(mo)(mo)设备工(gong)艺

真空(kong)镀膜(mo)机使用时，需要(yao)注意哪些问题?上海真空(kong)镀膜(mo)设备怎么跑业(ye)务

【真(zhen)空镀(du)(du)(du)膜(mo)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)的(de)(de)分类】： 这(zhei)(zhei)个(ge)(ge)问题(ti)如(ru)果在十年之前(qian)，其实是很(hen)容(rong)易回答的(de)(de)，就(jiu)是两(liang)个(ge)(ge)大(da)类，物理(li)沉积(ji)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)和化(hua)(hua)学(xue)沉积(ji)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)。现在这(zhei)(zhei)样回答也是没错的(de)(de)，但现在再这(zhei)(zhei)样回答就(jiu)没办(ban)法把事情说清楚了，所以(yi)(yi)从应用(yong)领域上(shang)(shang)可以(yi)(yi)分成(cheng)以(yi)(yi)下(xia)几(ji)类： 传统光(guang)学(xue)器(qi)件(jian)（镜(jing)片，滤光(guang)片）所用(yong)的(de)(de)镀(du)(du)(du)膜(mo)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)：单腔(qiang)体(ti)(ti)或多腔(qiang)体(ti)(ti)蒸发(fa)式(shi)镀(du)(du)(du)膜(mo)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)，溅射式(shi)镀(du)(du)(du)膜(mo)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)。 新材料(liao)领域的(de)(de)柔(rou)(rou)性设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)：卷对卷柔(rou)(rou)性镀(du)(du)(du)膜(mo)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)。 光(guang)通讯行业(ye)：离(li)子束溅射镀(du)(du)(du)膜(mo)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)。 半导体(ti)(ti)及相(xiang)似工(gong)艺：化(hua)(hua)学(xue)气(qi)相(xiang)沉积(ji)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)。 功(gong)能膜(mo)：多弧离(li)子镀(du)(du)(du)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)，溅射设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)，蒸发(fa)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei) 玻(bo)璃(li)工(gong)艺：溅射式(shi)连续(xu)线 其余的(de)(de)就(jiu)得(de)归到“工(gong)艺定制(zhi)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)”这(zhei)(zhei)个(ge)(ge)范围里面(mian)了，例如(ru)车(che)灯镀(du)(du)(du)膜(mo)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)，太阳(yang)能的(de)(de)共(gong)蒸发(fa)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)，光(guang)纤镀(du)(du)(du)膜(mo)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)，太阳(yang)能管设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)等等上(shang)(shang)海真(zhen)空镀(du)(du)(du)膜(mo)设(she)(she)(she)(she)(she)(she)备(bei)(bei)(bei)怎么跑业(ye)务

本(ben)文来(lai)自海(hai)润达物联科技有限责任公(gong)司：//qfd1mz.cn/Article/11a3899950.html