根据以(yi)(yi)上分析可知，白光干(gan)涉(she)时域(yu)解(jie)调(diao)(diao)方案(an)的(de)(de)(de)(de)优点是：①能够实(shi)现(xian)测(ce)(ce)(ce)量(liang)；②抗干(gan)扰能力强，系统(tong)(tong)的(de)(de)(de)(de)分辨(bian)(bian)率(lv)(lv)(lv)与光源输出(chu)功率(lv)(lv)(lv)的(de)(de)(de)(de)波动，光源的(de)(de)(de)(de)波长漂(piao)移以(yi)(yi)及外界环(huan)境对光纤(xian)的(de)(de)(de)(de)扰动等因素(su)无关；③测(ce)(ce)(ce)量(liang)精(jing)度(du)与零级干(gan)涉(she)条(tiao)纹的(de)(de)(de)(de)确定精(jing)度(du)以(yi)(yi)及反射(she)镜(jing)的(de)(de)(de)(de)精(jing)度(du)有关；④结(jie)构简单，成本较低。但是，时域(yu)解(jie)调(diao)(diao)方法需要(yao)借(jie)助扫(sao)描(miao)部(bu)件移动干(gan)涉(she)仪一端的(de)(de)(de)(de)反射(she)镜(jing)来进(jin)行相位补(bu)偿，所以(yi)(yi)扫(sao)描(miao)装置的(de)(de)(de)(de)分辨(bian)(bian)率(lv)(lv)(lv)将影响系统(tong)(tong)的(de)(de)(de)(de)精(jing)度(du)。采用(yong)(yong)这种(zhong)解(jie)调(diao)(diao)方案(an)的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)(ce)量(liang)分辨(bian)(bian)率(lv)(lv)(lv)一般(ban)是几个微米(mi)，达(da)(da)到(dao)亚微米(mi)的(de)(de)(de)(de)分辨(bian)(bian)率(lv)(lv)(lv)，主要(yao)受机械扫(sao)描(miao)部(bu)件的(de)(de)(de)(de)分辨(bian)(bian)率(lv)(lv)(lv)和稳(wen)定性(xing)限制。文献[46]所报道的(de)(de)(de)(de)位移扫(sao)描(miao)的(de)(de)(de)(de)分辨(bian)(bian)率(lv)(lv)(lv)可以(yi)(yi)达(da)(da)到(dao)0.54μm。当所测(ce)(ce)(ce)光程差较小时，F-P腔前后表面干(gan)涉(she)峰(feng)值相距很近(jin)，难(nan)以(yi)(yi)区分，此时时域(yu)解(jie)调(diao)(diao)方案(an)的(de)(de)(de)(de)应用(yong)(yong)受到(dao)限制。白光干(gan)涉(she)膜(mo)厚测(ce)(ce)(ce)量(liang)技术可以(yi)(yi)在(zai)不同环(huan)境下进(jin)行测(ce)(ce)(ce)量(liang)。萍乡膜(mo)厚仪性(xing)价比高企(qi)业

靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)壳(qiao)层(ceng)折(zhe)射率、厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)及其分(fen)布(bu)参数是激光惯性约束聚变（ICF）物(wu)理(li)实验中非常关键的(de)(de)(de)参数，精(jing)密(mi)(mi)测量(liang)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)壳(qiao)层(ceng)折(zhe)射率、厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)及其分(fen)布(bu)对(dui)ICF精(jing)密(mi)(mi)物(wu)理(li)实验研究具有非常重要的(de)(de)(de)意(yi)义。由于靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)尺寸微小（亚毫米(mi)量(liang)级）、结构(gou)特殊（球(qiu)形(xing)结构(gou)）、测量(liang)精(jing)度(du)(du)要求(qiu)高(gao)，如何实现靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)壳(qiao)层(ceng)折(zhe)射率及其厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)分(fen)布(bu)的(de)(de)(de)精(jing)密(mi)(mi)测量(liang)是靶(ba)(ba)参数测量(liang)技(ji)(ji)术(shu)研究中重要的(de)(de)(de)研究内容(rong)。本论文针对(dui)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)壳(qiao)层(ceng)折(zhe)射率及厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)分(fen)布(bu)的(de)(de)(de)精(jing)密(mi)(mi)测量(liang)需(xu)求(qiu)，开(kai)展了基于白光干涉技(ji)(ji)术(shu)的(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)壳(qiao)层(ceng)折(zhe)射率及厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)分(fen)布(bu)测量(liang)技(ji)(ji)术(shu)研究。黑(hei)龙江膜厚(hou)(hou)(hou)仪推荐白光干涉膜厚(hou)(hou)(hou)测量(liang)技(ji)(ji)术(shu)可以实现对(dui)不(bu)同材料的(de)(de)(de)薄膜进行测量(liang)。

为了分析白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)(liang)范围，开展了不同壁(bi)(bi)厚(hou)(hou)(hou)(hou)的(de)(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)(wan)壳(qiao)(qiao)层(ceng)(ceng)(ceng)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)测(ce)(ce)量(liang)(liang)实(shi)(shi)(shi)验。图(tu)是不同壳(qiao)(qiao)层(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)(wan)的(de)(de)(de)(de)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)测(ce)(ce)量(liang)(liang)曲线(xian)，如图(tu)所示，对(dui)于壳(qiao)(qiao)层(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)30μm的(de)(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)(wan)，其(qi)(qi)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)各谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰非常密集、干(gan)(gan)涉级(ji)次数值大(da)；此(ci)外，由于靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)(wan)壳(qiao)(qiao)层(ceng)(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)(de)吸收，壁(bi)(bi)厚(hou)(hou)(hou)(hou)较(jiao)(jiao)大(da)的(de)(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)(wan)信(xin)号(hao)强度(du)(du)(du)(du)(du)(du)相对(dui)较(jiao)(jiao)弱(ruo)。随(sui)(sui)着靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)(wan)壳(qiao)(qiao)层(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)进(jin)一(yi)步(bu)(bu)增加，其(qi)(qi)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)各谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰将更加密集，难(nan)以(yi)实(shi)(shi)(shi)现对(dui)各干(gan)(gan)涉谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰波(bo)长(zhang)的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)(liang)。为实(shi)(shi)(shi)现较(jiao)(jiao)大(da)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)(wan)壳(qiao)(qiao)层(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)测(ce)(ce)量(liang)(liang)，需采用红外的(de)(de)(de)(de)宽谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)和光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)探(tan)(tan)测(ce)(ce)器。对(dui)于壳(qiao)(qiao)层(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)为μm的(de)(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)(wan)，测(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)波(bo)峰相对(dui)较(jiao)(jiao)少，容易实(shi)(shi)(shi)现靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)(wan)壳(qiao)(qiao)层(ceng)(ceng)(ceng)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰波(bo)长(zhang)的(de)(de)(de)(de)准确测(ce)(ce)量(liang)(liang)；随(sui)(sui)着靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)(wan)壳(qiao)(qiao)层(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)进(jin)一(yi)步(bu)(bu)减小，两干(gan)(gan)涉信(xin)号(hao)之(zhi)间的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程差差异非常小，以(yi)至于他们(men)的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)信(xin)号(hao)中只有一(yi)个干(gan)(gan)涉波(bo)峰，基于峰值探(tan)(tan)测(ce)(ce)的(de)(de)(de)(de)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)方(fang)法难(nan)以(yi)实(shi)(shi)(shi)现其(qi)(qi)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)(liang)；为实(shi)(shi)(shi)现较(jiao)(jiao)小厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)(wan)(wan)壳(qiao)(qiao)层(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)测(ce)(ce)量(liang)(liang)，可(ke)采用紫外的(de)(de)(de)(de)宽谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)和光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)探(tan)(tan)测(ce)(ce)器提升其(qi)(qi)探(tan)(tan)测(ce)(ce)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)(du)(du)下限。

白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)扫描(miao)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)法能(neng)(neng)免除色(se)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)相(xiang)移干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)术测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)局限性。白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)扫描(miao)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)法采用(yong)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)作(zuo)为光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)，白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)作(zuo)为一(yi)(yi)种(zhong)宽光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)，相(xiang)干(gan)(gan)(gan)(gan)长(zhang)(zhang)度(du)(du)较短，因此(ci)发生干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)的(de)位置只能(neng)(neng)在(zai)很小(xiao)的(de)空间范围内。而且在(zai)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)时(shi)，有(you)一(yi)(yi)个(ge)确(que)切(qie)的(de)零(ling)点位置。测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)和参考光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程相(xiang)等时(shi)，所有(you)波段的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)都会发生相(xiang)长(zhang)(zhang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)，这时(shi)就能(neng)(neng)观测(ce)(ce)(ce)到(dao)(dao)有(you)一(yi)(yi)个(ge)很明亮的(de)零(ling)级条纹(wen)，同(tong)时(shi)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)信号也出(chu)现最大值(zhi)，通(tong)过分(fen)析(xi)这个(ge)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)信号，就能(neng)(neng)得(de)到(dao)(dao)表面上对应(ying)数据(ju)点的(de)相(xiang)对高(gao)度(du)(du)，从而得(de)到(dao)(dao)被(bei)测(ce)(ce)(ce)物体(ti)的(de)几(ji)何形貌。白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)扫描(miao)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)术是通(tong)过测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)条纹(wen)来完成的(de)，而干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)条纹(wen)的(de)清(qing)晰度(du)(du)直(zhi)接影(ying)响测(ce)(ce)(ce)试精(jing)度(du)(du)。因此(ci)，为了提高(gao)精(jing)度(du)(du)，就需要更为复(fu)杂的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)学系统，这使得(de)条纹(wen)的(de)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)变成一(yi)(yi)项费力(li)又费时(shi)的(de)工作(zuo)。白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)膜(mo)厚(hou)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)技术可以应(ying)用(yong)于不同(tong)材(cai)料的(de)薄膜(mo)的(de)研究(jiu)和制(zhi)造中。

光(guang)(guang)(guang)(guang)具有(you)传播的(de)(de)(de)(de)特(te)性，不同波列在(zai)(zai)(zai)相遇的(de)(de)(de)(de)区(qu)域，振(zhen)动(dong)(dong)将相互(hu)叠加(jia)，是各列光(guang)(guang)(guang)(guang)波独自在(zai)(zai)(zai)该点(dian)所引起的(de)(de)(de)(de)振(zhen)动(dong)(dong)矢(shi)量(liang)(liang)(liang)和(he)。两束(shu)光(guang)(guang)(guang)(guang)要发生(sheng)(sheng)干(gan)(gan)涉(she)，应(ying)(ying)必须(xu)满足三(san)个(ge)相干(gan)(gan)条件(jian)，即(ji)：频率一致(zhi)、振(zhen)动(dong)(dong)方(fang)(fang)向一致(zhi)、相位(wei)(wei)差(cha)稳定(ding)一致(zhi)。发生(sheng)(sheng)干(gan)(gan)涉(she)的(de)(de)(de)(de)两束(shu)光(guang)(guang)(guang)(guang)在(zai)(zai)(zai)一些地方(fang)(fang)振(zhen)动(dong)(dong)加(jia)强(qiang)，而在(zai)(zai)(zai)另一些地方(fang)(fang)振(zhen)动(dong)(dong)减弱，产生(sheng)(sheng)规则的(de)(de)(de)(de)明暗交替变(bian)化。任(ren)何干(gan)(gan)涉(she)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)都(dou)是完全(quan)建立在(zai)(zai)(zai)这(zhei)种(zhong)光(guang)(guang)(guang)(guang)波典型(xing)特(te)性上的(de)(de)(de)(de)。下(xia)图分(fen)别(bie)表示干(gan)(gan)涉(she)相长(zhang)和(he)干(gan)(gan)涉(she)相消的(de)(de)(de)(de)合振(zhen)幅。与(yu)激光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)源相比，白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)源的(de)(de)(de)(de)相干(gan)(gan)长(zhang)度(du)(du)在(zai)(zai)(zai)几微(wei)米到几十(shi)微(wei)米内，通常都(dou)很(hen)短，更(geng)为重要的(de)(de)(de)(de)是，白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)源产生(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)涉(she)条纹具有(you)一个(ge)典型(xing)的(de)(de)(de)(de)特(te)征：即(ji)条纹有(you)一个(ge)固定(ding)不变(bian)的(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)置(zhi)，该固定(ding)位(wei)(wei)置(zhi)对应(ying)(ying)于光(guang)(guang)(guang)(guang)程差(cha)为零的(de)(de)(de)(de)平(ping)衡位(wei)(wei)置(zhi)，并(bing)在(zai)(zai)(zai)该位(wei)(wei)置(zhi)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)输(shu)出光(guang)(guang)(guang)(guang)强(qiang)度(du)(du)具有(you)最大值(zhi)，并(bing)通过(guo)探测(ce)(ce)(ce)该光(guang)(guang)(guang)(guang)强(qiang)最大值(zhi)，可实现样品(pin)表面(mian)位(wei)(wei)移的(de)(de)(de)(de)精密测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)。此外(wai)，白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)源具有(you)系统(tong)抗干(gan)(gan)扰能力强(qiang)、稳定(ding)性好且动(dong)(dong)态范围(wei)大、结构简单，成本低(di)廉等优点(dian)。因(yin)此，白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)垂直扫描干(gan)(gan)涉(she)、白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反射光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)等基于白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)学测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)技术在(zai)(zai)(zai)薄膜三(san)维形(xing)貌测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)、薄膜厚(hou)度(du)(du)精密测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)等领(ling)域得以广(guang)泛应(ying)(ying)用。白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)膜厚(hou)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)技术可以对薄膜的(de)(de)(de)(de)厚(hou)度(du)(du)和(he)形(xing)貌进行联(lian)合测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)和(he)分(fen)析(xi)。黄山膜厚(hou)仪(yi)信赖推荐

白光干(gan)涉膜(mo)(mo)厚测(ce)量(liang)(liang)技术可以(yi)应用于光学涂层中的薄膜(mo)(mo)反(fan)射率(lv)测(ce)量(liang)(liang)。萍乡膜(mo)(mo)厚仪(yi)性价比高企业

本章主要介(jie)绍了基于(yu)白(bai)光(guang)反射光(guang)谱(pu)和白(bai)光(guang)垂直(zhi)扫(sao)描(miao)干涉(she)(she)(she)联(lian)用的(de)(de)靶(ba)(ba)丸壳层(ceng)折射率测量方法(fa)。该方法(fa)利用白(bai)光(guang)反射光(guang)谱(pu)测量靶(ba)(ba)丸壳层(ceng)光(guang)学厚(hou)度，利用白(bai)光(guang)垂直(zhi)扫(sao)描(miao)干涉(she)(she)(she)技术测量光(guang)线(xian)通(tong)过靶(ba)(ba)丸壳层(ceng)后的(de)(de)光(guang)程增量，二者联(lian)立即(ji)可(ke)求得靶(ba)(ba)丸折射率和厚(hou)度数(shu)据。在(zai)实(shi)验数(shu)据处(chu)理(li)方面(mian)，为解决白(bai)光(guang)干涉(she)(she)(she)光(guang)谱(pu)中波峰位(wei)置难以精确确定和单(dan)极值点(dian)判(pan)读可(ke)能存在(zai)干涉(she)(she)(she)级次(ci)误差(cha)的(de)(de)问题，提出MATLAB曲(qu)线(xian)拟合测定极值点(dian)波长以及(ji)利用干涉(she)(she)(she)级次(ci)连续性(xing)进(jin)行干涉(she)(she)(she)级次(ci)判(pan)定的(de)(de)数(shu)据处(chu)理(li)方法(fa)。应用碳(tan)氢(qing)(CH)薄膜对测量结果的(de)(de)可(ke)靠性(xing)进(jin)行了实(shi)验验证。萍乡膜厚(hou)仪(yi)性(xing)价(jia)比高企(qi)业

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