NanoX-80003D轮廓测(ce)(ce)量(liang)(liang)主(zhu)要(yao)技术(shu)参数3D测(ce)(ce)量(liang)(liang)主(zhu)要(yao)技术(shu)指(zhi)标（1）：测(ce)(ce)量(liang)(liang)模式：PSI+VSI+CSIZ轴(zhou)测(ce)(ce)量(liang)(liang)范围：大行程PZT扫(sao)(sao)描（300um标配/500um选配）10mm精密电机拓展扫(sao)(sao)描CCD相机：1920x1200高速相机（标配）干(gan)涉物(wu)(wu)镜(jing)：（标配）,20X,50X,100X(NIKON)物(wu)(wu)镜(jing)切换(huan)：5孔电动(dong)鼻切换(huan)FOV：1100x700um(10X物(wu)(wu)镜(jing)),220x140um(50X物(wu)(wu)镜(jing))Z轴(zhou)聚(ju)焦(jiao)：高精密直线(xian)平台自动(dong)聚(ju)焦(jiao)照明系统：高效长寿白光LED+滤(lv)色镜(jing)片电动(dong)切换(huan)（绿色/蓝色）倾(qing)斜调节(jie)：±5°电动(dong)调节(jie)横向分(fen)辨率：≥μm（与所配物(wu)(wu)镜(jing)有(you)关）3D测(ce)(ce)量(liang)(liang)主(zhu)要(yao)技术(shu)指(zhi)标（2）：垂直扫(sao)(sao)描速度：PSI:<10s，VSI/CSI：<38um/s高度测(ce)(ce)量(liang)(liang)范围：–10mm表面反射率：>(1σ)台阶(jie)高重复性(xing)：(1σ)VSI/CSI：垂直分(fen)辨率<(1σ，10um台阶(jie)高)。产能(neng) : 45s/点 （移动(dong) + 聚(ju)焦(jiao) + 测(ce)(ce)量(liang)(liang)）（扫(sao)(sao)描范围 50um）。中(zhong)端轮廓仪服务为先

轮(lun)(lun)廓(kuo)仪(yi)是一种(zhong)两坐标(biao)测量(liang)仪(yi)器(qi)(qi)(qi)(qi)，仪(yi)器(qi)(qi)(qi)(qi)传感器(qi)(qi)(qi)(qi)相对被(bei)测工(gong)(gong)(gong)(gong)件表(biao)而(er)作匀(yun)速滑行，传感器(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)触针感受(shou)到被(bei)测表(biao)而(er)的(de)(de)(de)(de)几何变(bian)化(hua)，在(zai)X和Z方(fang)向分(fen)(fen)别采样，并转换(huan)成(cheng)电(dian)(dian)信(xin)(xin)号，该电(dian)(dian)信(xin)(xin)号经放(fang)大和处理，再(zai)转换(huan)成(cheng)数(shu)字(zi)(zi)信(xin)(xin)号储存在(zai)计(ji)算机系(xi)统(tong)的(de)(de)(de)(de)存储器(qi)(qi)(qi)(qi)中，计(ji)算机对原始表(biao)而(er)轮(lun)(lun)廓(kuo)进(jin)行数(shu)字(zi)(zi)滤波，分(fen)(fen)离掉表(biao)而(er)粗(cu)(cu)糙(cao)度(du)成(cheng)分(fen)(fen)后(hou)再(zai)进(jin)行计(ji)算，测量(liang)结果(guo)为计(ji)算出的(de)(de)(de)(de)符(fu)介某种(zhong)曲(qu)(qu)线(xian)的(de)(de)(de)(de)实(shi)际值及其离基(ji)准点的(de)(de)(de)(de)坐标(biao)，或放(fang)大的(de)(de)(de)(de)实(shi)际轮(lun)(lun)廓(kuo)曲(qu)(qu)线(xian)，测量(liang)结果(guo)通(tong)过显示(shi)器(qi)(qi)(qi)(qi)输出，也(ye)可由打(da)印机输出。（来(lai)自(zi)网络）轮(lun)(lun)廓(kuo)仪(yi)在(zai)集成(cheng)电(dian)(dian)路的(de)(de)(de)(de)应(ying)用：封(feng)砖(zhuan)Bump测量(liang)视(shi)场：72*96（um）物镜：干(gan)涉50X检测位置：样品局(ju)部面(mian)减(jian)薄表(biao)面(mian)粗(cu)(cu)糙(cao)度(du)分(fen)(fen)析(xi)(xi)封(feng)装：300mm硅片背面(mian)减(jian)薄表(biao)面(mian)粗(cu)(cu)糙(cao)度(du)分(fen)(fen)析(xi)(xi)面(mian)粗(cu)(cu)糙(cao)度(du)分(fen)(fen)析(xi)(xi)：2D,3D显示(shi)；线(xian)粗(cu)(cu)糙(cao)度(du)分(fen)(fen)析(xi)(xi)：Ra,Ry，Rz，…器(qi)(qi)(qi)(qi)件多(duo)层结构台阶高MEMS器(qi)(qi)(qi)(qi)件多(duo)层结构分(fen)(fen)析(xi)(xi)、工(gong)(gong)(gong)(gong)艺(yi)控制参(can)数(shu)分(fen)(fen)析(xi)(xi)激光(guang)隐形切割(ge)工(gong)(gong)(gong)(gong)艺(yi)控制世(shi)界微一的(de)(de)(de)(de)能够实(shi)现激光(guang)槽宽(kuan)度(du)、深度(du)自(zi)动识别和数(shu)据自(zi)动生(sheng)成(cheng)，大达地缩短(duan)了激光(guang)槽工(gong)(gong)(gong)(gong)艺(yi)在(zai)线(xian)检测的(de)(de)(de)(de)时间，避免人工(gong)(gong)(gong)(gong)操作带(dai)来(lai)的(de)(de)(de)(de)一致性。安徽轮(lun)(lun)廓(kuo)仪(yi)代理商(shang)白光(guang)干(gan)涉系(xi)统(tong)基(ji)于无限远显微镜系(xi)统(tong)，通(tong)过干(gan)涉物镜产生(sheng)干(gan)涉条纹(wen)，使基(ji)本的(de)(de)(de)(de)光(guang)学显微镜系(xi)统(tong)变(bian)为白光(guang)干(gan)涉仪(yi)。

1）白光轮廓(kuo)仪(yi)的(de)(de)(de)(de)典型(xing)应用：对各种产品(pin)，不(bu)见和(he)(he)材料表面的(de)(de)(de)(de)平(ping)面度，粗(cu)糙度，波温度，面型(xing)轮廓(kuo)，表面缺陷，磨损情(qing)况(kuang)(kuang)，腐蚀情(qing)况(kuang)(kuang)，孔隙(xi)间隙(xi)，台阶高(gao)度，完(wan)全变(bian)形情(qing)况(kuang)(kuang)，加工情(qing)况(kuang)(kuang)等(deng)表面形貌特征进行测量(liang)和(he)(he)分(fen)析。2）共(gong)聚焦(jiao)(jiao)显(xian)(xian)微(wei)镜(jing)方法共(gong)聚焦(jiao)(jiao)显(xian)(xian)微(wei)镜(jing)包括LED光源、旋转多珍(zhen)(zhen)孔盘(pan)、带(dai)有压电(dian)驱动(dong)器(qi)的(de)(de)(de)(de)物镜(jing)和(he)(he)CCD相(xiang)(xiang)机(ji)。LED光源通(tong)过(guo)多珍(zhen)(zhen)孔盘(pan)（MPD）和(he)(he)物镜(jing)聚焦(jiao)(jiao)到(dao)样(yang)品(pin)表面上，从而反(fan)射光。反(fan)射光通(tong)过(guo)MPD的(de)(de)(de)(de)珍(zhen)(zhen)孔减小到(dao)聚焦(jiao)(jiao)的(de)(de)(de)(de)部(bu)分(fen)落在(zai)(zai)CCD相(xiang)(xiang)机(ji)上。传(chuan)统光学显(xian)(xian)微(wei)镜(jing)的(de)(de)(de)(de)图像(xiang)(xiang)(xiang)包含清(qing)晰和(he)(he)模糊(hu)的(de)(de)(de)(de)细(xi)节，但是在(zai)(zai)共(gong)焦(jiao)(jiao)图像(xiang)(xiang)(xiang)中，通(tong)过(guo)多珍(zhen)(zhen)孔盘(pan)的(de)(de)(de)(de)操作(zuo)滤(lv)除模糊(hu)细(xi)节（未聚焦(jiao)(jiao)），只有来自聚焦(jiao)(jiao)平(ping)面的(de)(de)(de)(de)光到(dao)达CCD相(xiang)(xiang)机(ji)。因此，共(gong)聚焦(jiao)(jiao)显(xian)(xian)微(wei)镜(jing)能够在(zai)(zai)纳米范围(wei)内(nei)获(huo)得高(gao)分(fen)辨率。每个(ge)共(gong)焦(jiao)(jiao)图像(xiang)(xiang)(xiang)是通(tong)过(guo)样(yang)品(pin)的(de)(de)(de)(de)形貌的(de)(de)(de)(de)水(shui)平(ping)切片(pian)，在(zai)(zai)不(bu)同的(de)(de)(de)(de)焦(jiao)(jiao)点高(gao)度捕(bu)获(huo)图像(xiang)(xiang)(xiang)产生这样(yang)的(de)(de)(de)(de)图像(xiang)(xiang)(xiang)的(de)(de)(de)(de)堆(dui)叠，共(gong)焦(jiao)(jiao)显(xian)(xian)微(wei)镜(jing)通(tong)过(guo)压电(dian)驱动(dong)器(qi)和(he)(he)物镜(jing)的(de)(de)(de)(de)精(jing)确垂(chui)直位移来实现(xian)。200到(dao)400个(ge)共(gong)焦(jiao)(jiao)图像(xiang)(xiang)(xiang)通(tong)常在(zai)(zai)几(ji)秒(miao)内(nei)被捕(bu)获(huo)，之后(hou)软件从共(gong)焦(jiao)(jiao)图像(xiang)(xiang)(xiang)的(de)(de)(de)(de)堆(dui)栈(zhan)重建精(jing)确的(de)(de)(de)(de)三维高(gao)度图像(xiang)(xiang)(xiang)。

随着时代的(de)(de)(de)发(fa)展，轮(lun)廓仪(yi)(yi)也越来重要了(le)，不(bu)少(shao)的(de)(de)(de)产品检(jian)测(ce)都需(xu)要通(tong)过(guo)(guo)轮(lun)廓仪(yi)(yi)进(jin)行(xing)检(jian)测(ce)，金日就让我们来了(le)解(jie)一下(xia)轮(lun)廓仪(yi)(yi)的(de)(de)(de)工(gong)(gong)作原(yuan)理(li)与应(ying)用吧。轮(lun)廓仪(yi)(yi)工(gong)(gong)作原(yuan)理(li)轮(lun)廓仪(yi)(yi)是一种(zhong)双(shuang)坐(zuo)标(biao)测(ce)量(liang)仪(yi)(yi)器。仪(yi)(yi)器传感器相(xiang)对于(yu)测(ce)量(liang)的(de)(de)(de)工(gong)(gong)件(jian)台以恒定(ding)速度(du)滑动。传感器的(de)(de)(de)触(chu)针(zhen)检(jian)测(ce)测(ce)量(liang)仪(yi)(yi)表的(de)(de)(de)几何变化，并(bing)(bing)分别在X和(he)(he)(he)Z方向上对其(qi)进(jin)行(xing)采样，并(bing)(bing)将其(qi)转换(huan)(huan)为电信号。电信号被放大和(he)(he)(he)处理(li)，然后(hou)转换(huan)(huan)成(cheng)数(shu)字信号并(bing)(bing)存储在计(ji)(ji)算(suan)机系统(tong)的(de)(de)(de)存储器中。计(ji)(ji)算(suan)机以数(shu)字方式过(guo)(guo)滤原(yuan)始表格的(de)(de)(de)轮(lun)廓，分离表面并(bing)(bing)计(ji)(ji)算(suan)粗糙度(du)分量(liang)，测(ce)量(liang)结果(guo)为计(ji)(ji)算(suan)符号。某个曲线(xian)的(de)(de)(de)实际(ji)值及(ji)其(qi)与参考(kao)点(dian)的(de)(de)(de)坐(zuo)标(biao)，或放大的(de)(de)(de)实际(ji)轮(lun)廓曲线(xian)。测(ce)量(liang)结果(guo)通(tong)过(guo)(guo)显示(shi)器输出(chu)，也可(ke)(ke)以由打(da)印机输出(chu)。轮(lun)廓仪(yi)(yi)应(ying)用轮(lun)廓仪(yi)(yi)广范用于(yu)机械加工(gong)(gong)、汽车(che)(che)(che)、摩托车(che)(che)(che)、精(jing)密(mi)五金、精(jing)密(mi)工(gong)(gong)具、刀 具、模具、光(guang)学元件(jian)等(deng)行(xing)业(ye)适(shi)用于(yu)研究机构(gou)、大学、计(ji)(ji)量(liang)机构(gou)和(he)(he)(he)企(qi)业(ye)计(ji)(ji)量(liang)室。在汽车(che)(che)(che)，摩托车(che)(che)(che)和(he)(he)(he)制冷(leng)行(xing)业(ye)，它可(ke)(ke)以测(ce)量(liang)活塞(sai)，活塞(sai)销，齿轮(lun)的(de)(de)(de)总线(xian)参数(shu)和(he)(he)(he)汽车(che)(che)(che)，摩托车(che)(che)(che)和(he)(he)(he)压缩机的(de)(de)(de)阀门柱(zhu)塞(sai)，可(ke)(ke)以测(ce)量(liang)各(ge)种(zhong)倾(qing)斜部(bu)件(jian)的(de)(de)(de)参数(shu)。在轴承工(gong)(gong)业(ye)中，内护套环的(de)(de)(de)密(mi)封槽(cao)的(de)(de)(de)形状（角(jiao)度(du)，倒角(jiao)R，槽(cao)深，槽(cao)宽等(deng)）；各(ge)种(zhong)滚子轴承的(de)(de)(de)滚子和(he)(he)(he)套圈母线(xian)的(de)(de)(de)冠部(bu)，角(jiao)度(du)和(he)(he)(he)对数(shu)曲线(xian)；电机轴，圆柱(zhu)销，活塞(sai)销，滚针(zhen)轴承，圆柱(zhu)滚子轴承。NanoX-8000隔振系统(tong)：集成(cheng)气浮隔振 + 大理(li)石基石。

NanoX-8000系(xi)统主(zhu)(zhu)要(yao)(yao)(yao)性能▪菜单(dan)式系(xi)统设(she)置(zhi)，一键(jian)式操作(zuo)，自(zi)动(dong)(dong)数(shu)据(ju)存储▪一键(jian)式系(xi)统校(xiao)准(zhun)▪支(zhi)持(chi)连接(jie)MES系(xi)统，数(shu)据(ju)可(ke)(ke)导(dao)入SPC▪具备异常(chang)(chang)报警，急停等功能，报警信(xin)息可(ke)(ke)储存▪MTBF≥1500hrs▪产(chan)能:45s/点(dian)（移动(dong)(dong)+聚焦+测量(liang)(liang)(liang)）（扫描范围50um）➢具备Globalalignment&Unitalignment➢自(zi)动(dong)(dong)聚焦范围：±0.3mm➢XY运动(dong)(dong)速度蕞快表面(mian)(mian)(mian)(mian)(mian)三(san)维(wei)微(wei)观(guan)(guan)形(xing)貌测量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)意义在(zai)生产(chan)中(zhong)，表面(mian)(mian)(mian)(mian)(mian)三(san)维(wei)微(wei)观(guan)(guan)形(xing)貌对工程零(ling)(ling)件的(de)(de)(de)(de)(de)(de)许多技术性能的(de)(de)(de)(de)(de)(de)评家(jia)具有(you)蕞直接(jie)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)影响，而(er)且表面(mian)(mian)(mian)(mian)(mian)三(san)维(wei)评定参(can)数(shu)由于(yu)能更权面(mian)(mian)(mian)(mian)(mian)，更真实的(de)(de)(de)(de)(de)(de)反(fan)应零(ling)(ling)件表面(mian)(mian)(mian)(mian)(mian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)特征及(ji)(ji)衡量(liang)(liang)(liang)表面(mian)(mian)(mian)(mian)(mian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)质量(liang)(liang)(liang)而(er)越(yue)来越(yue)受(shou)到重视，因此表面(mian)(mian)(mian)(mian)(mian)三(san)维(wei)微(wei)观(guan)(guan)形(xing)貌的(de)(de)(de)(de)(de)(de)测量(liang)(liang)(liang)就越(yue)显重要(yao)(yao)(yao)。通(tong)(tong)过(guo)兑三(san)维(wei)形(xing)貌的(de)(de)(de)(de)(de)(de)测量(liang)(liang)(liang)可(ke)(ke)以比(bi)较权面(mian)(mian)(mian)(mian)(mian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)评定表面(mian)(mian)(mian)(mian)(mian)质量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)优劣(lie)，进而(er)确认加(jia)工方法(fa)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)好坏以及(ji)(ji)设(she)计要(yao)(yao)(yao)求(qiu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)合理性，这样就可(ke)(ke)以反(fan)过(guo)来通(tong)(tong)过(guo)知道(dao)加(jia)工，优化(hua)加(jia)工工艺以及(ji)(ji)加(jia)工出高质量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)表面(mian)(mian)(mian)(mian)(mian)，确保零(ling)(ling)件使用功能的(de)(de)(de)(de)(de)(de)实现(xian)。表面(mian)(mian)(mian)(mian)(mian)三(san)位微(wei)观(guan)(guan)形(xing)貌的(de)(de)(de)(de)(de)(de)此类昂(ang)方法(fa)非常(chang)(chang)丰富，通(tong)(tong)常(chang)(chang)可(ke)(ke)分(fen)为(wei)(wei)接(jie)触时和(he)非接(jie)触时两种，其中(zhong)以非接(jie)触式测量(liang)(liang)(liang)方法(fa)为(wei)(wei)主(zhu)(zhu)。在(zai)共焦图像中(zhong)，通(tong)(tong)过(guo)多珍孔盘的(de)(de)(de)(de)(de)(de)操作(zuo)滤除模糊(hu)细(xi)节（未聚焦），只有(you)来自(zi)聚焦平(ping)面(mian)(mian)(mian)(mian)(mian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)光到达CCD相机。自(zi)动(dong)(dong)测量(liang)(liang)(liang)轮廓仪试用

共聚焦显(xian)微镜包(bao)括LED光(guang)源、旋转(zhuan)多(duo)珍孔盘、带(dai)有压(ya)电驱动器的物镜和CCD相机。中(zhong)端轮廓仪服务为(wei)先

我们(men)的轮(lun)廓(kuo)仪(yi)有什(shen)么(me)优势呢世界先(xian)进水平的产(chan)(chan)品技(ji)(ji)术合(he)理的产(chan)(chan)品价格24小时(shi)到(dao)(dao)现场(chang)的本(ben)地化售后服务无偿产(chan)(chan)品技(ji)(ji)术培训和应用技(ji)(ji)术支持个性(xing)化的应用软件服务支持合(he)理的保质期后产(chan)(chan)品服务更佳的产(chan)(chan)品性(xing)价比和更优解决方(fang)案(an)非接(jie)触式轮(lun)廓(kuo)仪(yi)（光学轮(lun)廓(kuo)仪(yi)）是以(yi)白光干涉为(wei)原理制成的一款高(gao)(gao)精(jing)度(du)微(wei)观形貌测(ce)(ce)量仪(yi)器(qi)，可测(ce)(ce)各类(lei)从超光滑到(dao)(dao)粗糙(cao)、低反(fan)射率到(dao)(dao)高(gao)(gao)反(fan)射率的物体表面，从纳米到(dao)(dao)微(wei)米级别(bie)工件的粗糙(cao)度(du)、平整度(du)、微(wei)观几何轮(lun)廓(kuo)、曲率等。（本(ben)段来自网络）中端轮(lun)廓(kuo)仪(yi)服务为(wei)先(xian)

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