光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)学测厚(hou)(hou)(hou)方(fang)(fang)法(fa)集光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)学、机械、电(dian)子(zi)、计算(suan)机图像处理技(ji)术为(wei)一(yi)体，以其光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)波长(zhang)为(wei)测量(liang)(liang)基准，从原理上保证了纳米级的(de)(de)测量(liang)(liang)精度。同时，光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)学测厚(hou)(hou)(hou)作为(wei)非接触式的(de)(de)测量(liang)(liang)方(fang)(fang)法(fa)，被(bei)广泛应用于精密(mi)元(yuan)件(jian)表面形貌及厚(hou)(hou)(hou)度的(de)(de)无损(sun)测量(liang)(liang)。其中，薄膜厚(hou)(hou)(hou)度光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)学测量(liang)(liang)方(fang)(fang)法(fa)按(an)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)吸收、透反射、偏振(zhen)和(he)(he)干涉(she)(she)(she)等光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)学原理可分(fen)(fen)为(wei)分(fen)(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)度法(fa)、椭(tuo)圆偏振(zhen)法(fa)、干涉(she)(she)(she)法(fa)等多种测量(liang)(liang)方(fang)(fang)法(fa)。不同的(de)(de)测量(liang)(liang)方(fang)(fang)法(fa)，其适用范(fan)围各(ge)有(you)侧重，褒贬不一(yi)。因此结合(he)多种测量(liang)(liang)方(fang)(fang)法(fa)的(de)(de)多通道式复合(he)测量(liang)(liang)法(fa)也有(you)研究，如(ru)椭(tuo)圆偏振(zhen)法(fa)和(he)(he)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)度法(fa)结合(he)的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱椭(tuo)偏法(fa)，彩色共(gong)焦光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱干涉(she)(she)(she)和(he)(he)白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)显微干涉(she)(she)(she)的(de)(de)结合(he)法(fa)等。白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干涉(she)(she)(she)膜厚(hou)(hou)(hou)测量(liang)(liang)技(ji)术可以对(dui)薄膜的(de)(de)各(ge)项光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)学参数(shu)进行联合(he)测量(liang)(liang)和(he)(he)分(fen)(fen)析(xi)。嘉定区(qu)原装(zhuang)膜厚(hou)(hou)(hou)仪

本(ben)章主(zhu)要介绍了基于白光反(fan)(fan)射(she)光谱(pu)和(he)白光垂直扫(sao)描干(gan)(gan)涉联用(yong)(yong)的(de)靶丸(wan)(wan)壳层折(zhe)射(she)率测(ce)量(liang)方法。该方法利(li)用(yong)(yong)白光反(fan)(fan)射(she)光谱(pu)测(ce)量(liang)靶丸(wan)(wan)壳层光学(xue)厚度，利(li)用(yong)(yong)白光垂直扫(sao)描干(gan)(gan)涉技(ji)术测(ce)量(liang)光线通过靶丸(wan)(wan)壳层后(hou)的(de)光程增量(liang)，二者联立(li)即可求得靶丸(wan)(wan)折(zhe)射(she)率和(he)厚度数(shu)据(ju)。在实(shi)验数(shu)据(ju)处理方面，为解决白光干(gan)(gan)涉光谱(pu)中(zhong)波峰位(wei)置难以(yi)(yi)精确(que)确(que)定(ding)和(he)单极(ji)值点(dian)判读可能存在干(gan)(gan)涉级(ji)次误(wu)差的(de)问题，提出MATLAB曲线拟合测(ce)定(ding)极(ji)值点(dian)波长以(yi)(yi)及利(li)用(yong)(yong)干(gan)(gan)涉级(ji)次连(lian)续(xu)性(xing)进行(xing)干(gan)(gan)涉级(ji)次判定(ding)的(de)数(shu)据(ju)处理方法。应(ying)(ying)用(yong)(yong)碳氢(CH)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)对测(ce)量(liang)结果的(de)可靠性(xing)进行(xing)了实(shi)验验证。大连(lian)品牌膜(mo)(mo)厚仪白光干(gan)(gan)涉膜(mo)(mo)厚测(ce)量(liang)技(ji)术可以(yi)(yi)应(ying)(ying)用(yong)(yong)于不同材料的(de)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)的(de)研究和(he)制造(zao)中(zhong)。

白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)分(fen)(fen)析(xi)是(shi)目前白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)测(ce)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)一(yi)个重要(yao)方(fang)向，此项技术主要(yao)是(shi)利(li)用光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)仪(yi)将对条(tiao)纹的(de)(de)(de)测(ce)量(liang)(liang)转(zhuan)变成(cheng)为对不同波长(zhang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)的(de)(de)(de)测(ce)量(liang)(liang)。通过分(fen)(fen)析(xi)被测(ce)物(wu)体(ti)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)特(te)性，就(jiu)能够(gou)(gou)得到相(xiang)应的(de)(de)(de)长(zhang)度(du)信息(xi)和形貌信息(xi)。相(xiang)比于白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)扫描干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)术，它(ta)不需要(yao)大量(liang)(liang)的(de)(de)(de)扫描过程，因此提高了(le)测(ce)量(liang)(liang)效率(lv)，而且也(ye)减(jian)小(xiao)了(le)环境对它(ta)的(de)(de)(de)影响。此项技术能够(gou)(gou)测(ce)量(liang)(liang)距离、位(wei)移、块状材料的(de)(de)(de)群折射率(lv)以(yi)及多层(ceng)薄(bo)(bo)膜(mo)厚(hou)度(du)。白(bai)干(gan)(gan)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)法是(shi)基于频(pin)域干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)的(de)(de)(de)理论，采用白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)作为宽波段光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源，经(jing)过分(fen)(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)棱镜(jing)，被分(fen)(fen)成(cheng)两束光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)，这两束光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)分(fen)(fen)别入射到参考面和被测(ce)物(wu)体(ti)，反(fan)射回(hui)来(lai)后(hou)经(jing)过分(fen)(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)棱镜(jing)合成(cheng)后(hou)，由色散(san)元件(jian)分(fen)(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)至探(tan)测(ce)器，记(ji)录频(pin)域上的(de)(de)(de)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)信号。此光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)信号包含了(le)被测(ce)表面的(de)(de)(de)信息(xi)，如果此时被测(ce)物(wu)体(ti)是(shi)薄(bo)(bo)膜(mo)，则薄(bo)(bo)膜(mo)的(de)(de)(de)厚(hou)度(du)也(ye)包含在(zai)这光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)信号当(dang)中。这样(yang)就(jiu)把白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)的(de)(de)(de)精度(du)和光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)测(ce)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)速(su)度(du)结合起来(lai)，形成(cheng)了(le)一(yi)种精度(du)高而且速(su)度(du)快的(de)(de)(de)测(ce)量(liang)(liang)方(fang)法。

根(gen)据(ju)以(yi)上分(fen)(fen)析可知，白(bai)光(guang)干(gan)涉(she)时域(yu)解调(diao)方(fang)(fang)案的(de)(de)(de)(de)优点是：①能够(gou)实(shi)现测(ce)(ce)量(liang)；②抗干(gan)扰(rao)能力(li)强，系(xi)统的(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)(lv)(lv)(lv)与光(guang)源输(shu)出功率(lv)(lv)(lv)(lv)的(de)(de)(de)(de)波(bo)动，光(guang)源的(de)(de)(de)(de)波(bo)长漂移以(yi)及外界环境对光(guang)纤(xian)的(de)(de)(de)(de)扰(rao)动等因(yin)素无关(guan)；③测(ce)(ce)量(liang)精(jing)度(du)与零级干(gan)涉(she)条纹的(de)(de)(de)(de)确(que)定(ding)精(jing)度(du)以(yi)及反射镜(jing)的(de)(de)(de)(de)精(jing)度(du)有关(guan)；④结构简单，成本较(jiao)低。但是，时域(yu)解调(diao)方(fang)(fang)法需要借助扫(sao)描部(bu)件(jian)移动干(gan)涉(she)仪一端的(de)(de)(de)(de)反射镜(jing)来进(jin)行(xing)(xing)相位(wei)补偿，所以(yi)扫(sao)描装置的(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)(lv)(lv)(lv)将(jiang)影(ying)响系(xi)统的(de)(de)(de)(de)精(jing)度(du)。采用这种解调(diao)方(fang)(fang)案的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)(lv)(lv)(lv)一般(ban)是几个微(wei)米，达(da)到亚(ya)微(wei)米的(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)(lv)(lv)(lv)，主要受机械扫(sao)描部(bu)件(jian)的(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)(lv)(lv)(lv)和稳定(ding)性限制。文献(xian)[46]所报道的(de)(de)(de)(de)位(wei)移扫(sao)描的(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)(lv)(lv)(lv)可以(yi)达(da)到0.54μm。当所测(ce)(ce)光(guang)程差(cha)较(jiao)小时，F-P腔(qiang)前后表面干(gan)涉(she)峰值相距(ju)很近，难以(yi)区分(fen)(fen)，此时时域(yu)解调(diao)方(fang)(fang)案的(de)(de)(de)(de)应用受到限制。白(bai)光(guang)干(gan)涉(she)膜厚(hou)测(ce)(ce)量(liang)技术可以(yi)对薄膜的(de)(de)(de)(de)表面和内部(bu)进(jin)行(xing)(xing)联合测(ce)(ce)量(liang)和分(fen)(fen)析。

极值法(fa)求解过(guo)(guo)程(cheng)计算简单，速度(du)快，同(tong)(tong)时确定(ding)薄(bo)膜(mo)(mo)的(de)多个光学常(chang)数(shu)(shu)(shu)及解决多值性问题，测(ce)(ce)试范围(wei)广，但没有考虑薄(bo)膜(mo)(mo)均匀(yun)性和(he)基底色散的(de)因素，以(yi)至于精度(du)不(bu)够(gou)高。此外，由(you)于受(shou)曲线拟(ni)合(he)(he)精度(du)的(de)限(xian)制，该(gai)方(fang)(fang)法(fa)对膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)的(de)测(ce)(ce)量(liang)范围(wei)有要(yao)求，通常(chang)用(yong)这种方(fang)(fang)法(fa)测(ce)(ce)量(liang)的(de)薄(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)度(du)应大于200nm且小(xiao)于10μm，以(yi)确保(bao)光谱信号中的(de)干涉(she)(she)波峰(feng)数(shu)(shu)(shu)恰(qia)当。全光谱拟(ni)合(he)(he)法(fa)是(shi)基于客观条(tiao)件或基本常(chang)识(shi)来设置每个拟(ni)合(he)(he)参数(shu)(shu)(shu)上限(xian)、下(xia)限(xian)，并为(wei)该(gai)区域的(de)薄(bo)膜(mo)(mo)生成一组或多组光学参数(shu)(shu)(shu)及厚(hou)(hou)度(du)的(de)初始(shi)值，引入适合(he)(he)的(de)色散模(mo)型(xing)，再根(gen)据麦克斯(si)韦方(fang)(fang)程(cheng)组的(de)推导。这样(yang)求得(de)的(de)值自然和(he)实(shi)际的(de)透(tou)过(guo)(guo)率(lv)和(he)反射率(lv)（通过(guo)(guo)光学系统直接测(ce)(ce)量(liang)的(de)薄(bo)膜(mo)(mo)透(tou)射率(lv)或反射率(lv)）有所不(bu)同(tong)(tong)，建立(li)评(ping)价函(han)数(shu)(shu)(shu)，当计算的(de)透(tou)过(guo)(guo)率(lv)/反射率(lv)与实(shi)际值之间的(de)偏(pian)差小(xiao)时，我们就可(ke)以(yi)认为(wei)预设的(de)初始(shi)值就是(shi)要(yao)测(ce)(ce)量(liang)的(de)薄(bo)膜(mo)(mo)参数(shu)(shu)(shu)。白光干涉(she)(she)膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)测(ce)(ce)量(liang)技术可(ke)以(yi)应用(yong)于材料科(ke)学中的(de)薄(bo)膜(mo)(mo)微(wei)结构分(fen)析。内蒙(meng)古膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)仪厂家现(xian)货

白光干涉膜(mo)厚测量技术可以(yi)应用于光学传感器中(zhong)的薄膜(mo)厚度(du)测量。嘉定区原装膜(mo)厚仪

白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)扫描干涉法能(neng)免(mian)除(chu)色光(guang)(guang)(guang)(guang)相(xiang)(xiang)移干涉术测(ce)(ce)量的(de)(de)局限性。白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)扫描干涉法采用白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)作为(wei)光(guang)(guang)(guang)(guang)源，白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)作为(wei)一(yi)种宽光(guang)(guang)(guang)(guang)谱的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)源，相(xiang)(xiang)干长度较短，因(yin)此(ci)发(fa)生干涉的(de)(de)位置只能(neng)在很小的(de)(de)空间(jian)范围内。而(er)且(qie)在白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干涉时(shi)，有(you)一(yi)个(ge)确(que)切(qie)的(de)(de)零(ling)点位置。测(ce)(ce)量光(guang)(guang)(guang)(guang)和(he)参考(kao)光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)程相(xiang)(xiang)等(deng)时(shi)，所有(you)波段的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)都会(hui)发(fa)生相(xiang)(xiang)长干涉，这时(shi)就(jiu)(jiu)能(neng)观测(ce)(ce)到(dao)有(you)一(yi)个(ge)很明亮的(de)(de)零(ling)级条(tiao)(tiao)纹(wen)，同时(shi)干涉信号(hao)也(ye)出现最大值(zhi)，通(tong)过分(fen)析这个(ge)干涉信号(hao)，就(jiu)(jiu)能(neng)得到(dao)表面上对(dui)应数据点的(de)(de)相(xiang)(xiang)对(dui)高度，从而(er)得到(dao)被测(ce)(ce)物体的(de)(de)几(ji)何形貌。白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)扫描干涉术是通(tong)过测(ce)(ce)量干涉条(tiao)(tiao)纹(wen)来完成(cheng)的(de)(de)，而(er)干涉条(tiao)(tiao)纹(wen)的(de)(de)清晰(xi)度直接影响测(ce)(ce)试精度。因(yin)此(ci)，为(wei)了提高精度，就(jiu)(jiu)需要(yao)更为(wei)复杂的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)学系统，这使得条(tiao)(tiao)纹(wen)的(de)(de)测(ce)(ce)量变成(cheng)一(yi)项费(fei)力又费(fei)时(shi)的(de)(de)工(gong)作。嘉定区原装(zhuang)膜厚仪(yi)

本文来自(zi)海润达物联(lian)科技有限(xian)责任(ren)公司：//qfd1mz.cn/Article/18c01299969.html