集(ji)成于(yu)2D扫(sao)描(miao)系(xi)统上，光谱(pu)(pu)共焦(jiao)位(wei)移(yi)传感(gan)(gan)器(qi)可(ke)以提(ti)供针对(dui)(dui)负(fu)载表面(mian)(mian)(mian)形貌的(de)(de)(de)2D和(he)(he)(he)高度(du)测(ce)量(liang)(liang)数据。创新的(de)(de)(de)光谱(pu)(pu)共焦(jiao)原理使本传感(gan)(gan)器(qi)可(ke)以直接(jie)透过透明件(jian)(jian)工(gong)件(jian)(jian)的(de)(de)(de)前后表面(mian)(mian)(mian)测(ce)量(liang)(liang)厚(hou)度(du)，整(zheng)个过程(cheng)需要使用(yong)(yong)一个传感(gan)(gan)器(qi)从工(gong)件(jian)(jian)的(de)(de)(de)一个侧面(mian)(mian)(mian)测(ce)量(liang)(liang)。相对(dui)(dui)于(yu)三(san)角反(fan)射(she)原理的(de)(de)(de)激光位(wei)移(yi)传感(gan)(gan)器(qi)，本仪器(qi)因采(cai)用(yong)(yong)同轴光，从而可(ke)以更有效地测(ce)量(liang)(liang)弧(hu)工(gong)件(jian)(jian)的(de)(de)(de)厚(hou)度(du)。高采(cai)样频(pin)率，小尺(chi)寸体(ti)积和(he)(he)(he)卡放的(de)(de)(de)数据接(jie)口，使本仪器(qi)非常容易集(ji)成至在线生产和(he)(he)(he)检(jian)测(ce)设备中，实(shi)现线上检(jian)测(ce)。由(you)于(yu)采(cai)用(yong)(yong)超高的(de)(de)(de)采(cai)样频(pin)率和(he)(he)(he)超高精(jing)度(du),光谱(pu)(pu)共焦(jiao)传感(gan)(gan)器(qi)可(ke)以对(dui)(dui)震(zhen)动物(wu)件(jian)(jian)进(jin)行测(ce)量(liang)(liang),传感(gan)(gan)器(qi)采(cai)用(yong)(yong)的(de)(de)(de)非接(jie)触设计，避免测(ce)量(liang)(liang)过程(cheng)中对(dui)(dui)震(zhen)动物(wu)件(jian)(jian)造成干扰，同时可(ke)以对(dui)(dui)复杂区(qu)域(yu)进(jin)行详(xiang)细的(de)(de)(de)测(ce)量(liang)(liang)和(he)(he)(he)分(fen)析。光谱(pu)(pu)共焦(jiao)技术(shu)(shu)的(de)(de)(de)研究和(he)(he)(he)应(ying)用(yong)(yong)将推动科学技术(shu)(shu)的(de)(de)(de)进(jin)步(bu)。徐(xu)汇(hui)区(qu)光谱(pu)(pu)共焦(jiao)详(xiang)情

非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)球(qiu)面(mian)中心(xin)偏差(cha)的(de)(de)(de)(de)测(ce)量(liang)(liang)手段主要(yao)包括接触(chu)式(shi)(百(bai)分表)和(he)非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)接触(chu)式(shi)(光(guang)(guang)(guang)学传感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi))。文章基于(yu)自(zi)准直定心(xin)原理和(he)光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共(gong)焦(jiao)位(wei)移(yi)传感(gan)(gan)技术，对(dui)高(gao)阶(jie)非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)球(qiu)面(mian)的(de)(de)(de)(de)中心(xin)偏差(cha)进(jin)行了(le)非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)接触(chu)精(jing)密测(ce)量(liang)(liang)。光(guang)(guang)(guang)学加工人员根据测(ce)量(liang)(liang)出的(de)(de)(de)(de)校(xiao)正(zheng)量(liang)(liang)和(he)位(wei)置方向对(dui)球(qiu)面(mian)进(jin)行抛光(guang)(guang)(guang)，使(shi)非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)球(qiu)面(mian)透镜的(de)(de)(de)(de)中心(xin)偏差(cha)满足光(guang)(guang)(guang)学系统(tong)设计(ji)的(de)(de)(de)(de)要(yao)求。由于(yu)非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)球(qiu)面(mian)已加工到一定精(jing)度要(yao)求，因(yin)此对(dui)球(qiu)面(mian)的(de)(de)(de)(de)抛光(guang)(guang)(guang)和(he)磨削是纠正(zheng)非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)球(qiu)面(mian)透镜中心(xin)偏差(cha)的(de)(de)(de)(de)主要(yao)方法。利用轴对(dui)称高(gao)阶(jie)非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)球(qiu)面(mian)曲线的(de)(de)(de)(de)数学模型计(ji)算被(bei)测(ce)环(huan)D带的(de)(de)(de)(de)旋转角度θ，即光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共(gong)焦(jiao)位(wei)移(yi)传感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)工作(zuo)角。昌平区光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共(gong)焦(jiao)生产厂(chang)家哪(na)家好光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共(gong)焦(jiao)技术在航(hang)(hang)空(kong)航(hang)(hang)天领(ling)域可(ke)以用于(yu)航(hang)(hang)空(kong)发动机和(he)航(hang)(hang)天器(qi)(qi)(qi)部件的(de)(de)(de)(de)精(jing)度检测(ce)。

光(guang)谱(pu)共(gong)焦位(wei)移(yi)传感(gan)器(qi)基本原理如图1所(suo)示，由光(guang)源(yuan)、分(fen)(fen)光(guang)镜(jing)、光(guang)学色(se)散(san)镜(jing)头组、小孔以及光(guang)谱(pu)仪(yi)等(deng)部分(fen)(fen)组成。传感(gan)器(qi)通(tong)(tong)过(guo)色(se)散(san)镜(jing)头进行(xing)色(se)散(san)，将位(wei)移(yi)信(xin)息(xi)(xi)转(zhuan)换(huan)成波(bo)长(zhang)信(xin)息(xi)(xi)，使用光(guang)谱(pu)仪(yi)进行(xing)光(guang)谱(pu)分(fen)(fen)解得(de)出波(bo)长(zhang)的变(bian)化信(xin)息(xi)(xi)，再(zai)反(fan)解得(de)出被测(ce)位(wei)移(yi)。其中(zhong)色(se)散(san)镜(jing)头作为光(guang)学部分(fen)(fen)完(wan)成了(le)(le)波(bo)长(zhang)和位(wei)移(yi)的一(yi)一(yi)映射(she)，实(shi)(shi)现了(le)(le)波(bo)长(zhang)和位(wei)移(yi)之间(jian)的编(bian)码转(zhuan)化。光(guang)谱(pu)仪(yi)则实(shi)(shi)现波(bo)长(zhang)的测(ce)量(liang)及位(wei)移(yi)反(fan)解输出。当光(guang)谱(pu)信(xin)息(xi)(xi)突破小孔的限制，借(jie)(jie)助(zhu)平(ping)面(mian)光(guang)栅(zha)、凹面(mian)反(fan)射(she)镜(jing)进行(xing)光(guang)线的衍射(she)和汇聚，将反(fan)射(she)出来的汇聚光(guang)照射(she)在线阵CCD上进行(xing)光(guang)电转(zhuan)换(huan)，借(jie)(jie)助(zhu)光(guang)谱(pu)信(xin)号采集(ji)实(shi)(shi)现模(mo)数转(zhuan)换(huan)， 通(tong)(tong)过(guo)解码得(de)到(dao)位(wei)移(yi)信(xin)息(xi)(xi)。

为了(le)提高(gao)(gao)(gao)加工检测(ce)(ce)(ce)(ce)效(xiao)率，实现(xian)(xian)尺寸(cun)形位公差与微观轮廓(kuo)的(de)(de)同平台测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)，提出一种基于光谱(pu)共焦位移传(chuan)感(gan)器在(zai)现(xian)(xian)场坐标(biao)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)平台上(shang)集(ji)成表(biao)(biao)面粗糙度(du)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)方法。搭建实验(yan)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)系(xi)统(tong)且在(zai)Lab VIEW平台上(shang)开发(fa)系(xi)统(tong)的(de)(de)硬件通讯控制模块(kuai)，并(bing)配套了(le)高(gao)(gao)(gao)斯轮廓(kuo)滤波处理及表(biao)(biao)面粗糙度(du)的(de)(de)评(ping)价环境，建立了(le)非接触的(de)(de)表(biao)(biao)面粗糙度(du)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)能力。对标(biao)准台阶(jie)、表(biao)(biao)面粗糙度(du)标(biao)准样块(kuai)和(he)曲面轮廓(kuo)样品进行了(le)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)，实验(yan)结果表(biao)(biao)明:该测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)系(xi)统(tong)具有较高(gao)(gao)(gao)的(de)(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)精(jing)度(du)和(he)重(zhong)复性，粗糙度(du)参数(shu)Ｒa的(de)(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)重(zhong)复性为0.0026μm，在(zai)优化零件检测(ce)(ce)(ce)(ce)流程和(he)提高(gao)(gao)(gao)整体检测(ce)(ce)(ce)(ce)效(xiao)率等方面具有一定的(de)(de)应用前景。光谱(pu)共焦技(ji)术(shu)具有轴向按层分(fen)析功能，精(jing)度(du)可以(yi)达到纳米级别。

硅(gui)(gui)片栅(zha)(zha)线(xian)(xian)(xian)的(de)(de)厚(hou)(hou)度(du)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方(fang)法(fa)我(wo)(wo)们还用创视智能TS-C系(xi)列光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)焦传感(gan)(gan)器和CCS控制器，TS-C系(xi)列光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)焦位(wei)移传感(gan)(gan)器能够实现0.025 µm的(de)(de)重复(fu)精度(du)，±0.02% of F.S.的(de)(de)线(xian)(xian)(xian)性(xing)精度(du)，10kHz的(de)(de)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)速(su)度(du)，以及±60°的(de)(de)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)角度(du)，能够适(shi)应(ying)镜面、透(tou)明、半透(tou)明、膜(mo)层、金属粗糙面、多层玻璃(li)等材料表(biao)面，支持485、USB、以太网、模(mo)拟量(liang)(liang)的(de)(de)数据传输接口。。我(wo)(wo)们主(zhu)要测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)太阳能光(guang)伏(fu)板硅(gui)(gui)片删线(xian)(xian)(xian)的(de)(de)厚(hou)(hou)度(du)，所以我(wo)(wo)们这次(ci)用单(dan)探(tan)头在(zai)二(er)维运动平台上进行扫描测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)。栅(zha)(zha)线(xian)(xian)(xian)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方(fang)法(fa)：首先我(wo)(wo)们将需要扫描测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)(de)硅(gui)(gui)片选(xuan)择三个区(qu)域进行标记(ji)如(ru)图1，用光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)焦C1200单(dan)探(tan)头单(dan)侧测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)，栅(zha)(zha)线(xian)(xian)(xian)厚(hou)(hou)度(du)是栅(zha)(zha)线(xian)(xian)(xian)高度(du)-基(ji)底的(de)(de)高度(du)差。二(er)维运动平台扫描测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)（由于栅(zha)(zha)线(xian)(xian)(xian)不是一(yi)个平整面，自(zi)身有一(yi)定的(de)(de)曲率，对测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)区(qu)域的(de)(de)选(xuan)择随机性(xing)影响较大）光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)焦技术具有很大的(de)(de)市场潜力。崇明区(qu)光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)焦供应(ying)

光谱共焦(jiao)位移传感器可以实现对材(cai)料的微小变形进行精确测量，对于研究材(cai)料的性能具有重要意义。徐汇区光谱共焦(jiao)详情(qing)

光(guang)(guang)谱(pu)共焦(jiao)(jiao)技术是(shi)在(zai)共焦(jiao)(jiao)显微(wei)术基础(chu)上(shang)发(fa)展而来，其无需轴向扫描，直接由波长(zhang)对应轴向距(ju)离信息，从而大幅提高(gao)测(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)速(su)度。而基于(yu)光(guang)(guang)谱(pu)共焦(jiao)(jiao)技术的(de)(de)传(chuan)感(gan)器(qi)是(shi)近年来出现的(de)(de)一(yi)种高(gao)精(jing)(jing)(jing)度、非接触式(shi)的(de)(de)新(xin)型(xing)传(chuan)感(gan)器(qi)，精(jing)(jing)(jing)度理(li)论上(shang)可达 nm 量(liang)(liang)(liang)级。由于(yu)光(guang)(guang)谱(pu)共焦(jiao)(jiao)传(chuan)感(gan)器(qi)对被测(ce)(ce)表面(mian)状(zhuang)况要求(qiu)低，允许被测(ce)(ce)表面(mian)有更大的(de)(de)倾(qing)斜角，测(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)速(su)度快，实(shi)时性(xing)高(gao)，迅(xun)速(su)成为工(gong)业测(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)热门传(chuan)感(gan)器(qi)，大量(liang)(liang)(liang)应用于(yu)精(jing)(jing)(jing)密定(ding)位、薄膜厚(hou)度测(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)、微(wei)观轮廓精(jing)(jing)(jing)密测(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)等领(ling)域(yu)。本文在(zai)论述光(guang)(guang)谱(pu)共焦(jiao)(jiao)技术原理(li)的(de)(de)基础(chu)上(shang)，列举了(le)光(guang)(guang)谱(pu)共焦(jiao)(jiao)传(chuan)感(gan)器(qi)在(zai)几何量(liang)(liang)(liang)计(ji)量(liang)(liang)(liang)测(ce)(ce)试中的(de)(de)典型(xing)应用，探讨共焦(jiao)(jiao)技术在(zai)未来精(jing)(jing)(jing)密测(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)进一(yi)步应用，展望(wang)其发(fa)展前(qian)景。徐(xu)汇区光(guang)(guang)谱(pu)共焦(jiao)(jiao)详情

本文(wen)来自海润达物(wu)联科(ke)技有(you)限责任公司：//qfd1mz.cn/Article/50d00599944.html