集成(cheng)于2D扫(sao)描系统上，光(guang)谱共焦(jiao)(jiao)(jiao)位(wei)移传(chuan)感(gan)器可以提供(gong)针对负(fu)载表面形貌的(de)(de)2D和(he)高度测(ce)(ce)量数(shu)据。创新的(de)(de)光(guang)谱共焦(jiao)(jiao)(jiao)原理使本(ben)传(chuan)感(gan)器可以直接透过(guo)(guo)透明(ming)件(jian)(jian)工(gong)件(jian)(jian)的(de)(de)前后(hou)表面测(ce)(ce)量厚(hou)度，整个(ge)过(guo)(guo)程需要(yao)使用(yong)(yong)一个(ge)传(chuan)感(gan)器从(cong)(cong)工(gong)件(jian)(jian)的(de)(de)一个(ge)侧面测(ce)(ce)量。相对于三角反射原理的(de)(de)激光(guang)位(wei)移传(chuan)感(gan)器，本(ben)仪(yi)(yi)器因采用(yong)(yong)同轴光(guang)，从(cong)(cong)而(er)可以更有效地测(ce)(ce)量弧(hu)工(gong)件(jian)(jian)的(de)(de)厚(hou)度。高采样频率，小尺寸体积和(he)卡放的(de)(de)数(shu)据接口，使本(ben)仪(yi)(yi)器非(fei)(fei)常容易集成(cheng)至在线生产和(he)检测(ce)(ce)设(she)备中(zhong)，实现线上检测(ce)(ce)。由于采用(yong)(yong)超(chao)高的(de)(de)采样频率和(he)超(chao)高精(jing)度,光(guang)谱共焦(jiao)(jiao)(jiao)传(chuan)感(gan)器可以对震动(dong)物件(jian)(jian)进(jin)行测(ce)(ce)量,传(chuan)感(gan)器采用(yong)(yong)的(de)(de)非(fei)(fei)接触设(she)计(ji)，避免测(ce)(ce)量过(guo)(guo)程中(zhong)对震动(dong)物件(jian)(jian)造成(cheng)干扰(rao)，同时可以对复(fu)杂区域进(jin)行详细的(de)(de)测(ce)(ce)量和(he)分(fen)析。光(guang)谱共焦(jiao)(jiao)(jiao)技(ji)术的(de)(de)研究和(he)应(ying)用(yong)(yong)将(jiang)推动(dong)科(ke)学技(ji)术的(de)(de)进(jin)步。徐汇区光(guang)谱共焦(jiao)(jiao)(jiao)详情

非球面(mian)(mian)中(zhong)心(xin)(xin)偏差(cha)的(de)测(ce)量手(shou)段主要(yao)包括接(jie)触(chu)式(shi)(百分表)和(he)非接(jie)触(chu)式(shi)(光(guang)(guang)(guang)学(xue)传感(gan)器(qi))。文(wen)章基于自准直定心(xin)(xin)原理(li)和(he)光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共焦(jiao)位移传感(gan)技术(shu)，对(dui)高阶非球面(mian)(mian)的(de)中(zhong)心(xin)(xin)偏差(cha)进行了非接(jie)触(chu)精(jing)密测(ce)量。光(guang)(guang)(guang)学(xue)加工(gong)人员根据测(ce)量出的(de)校正量和(he)位置方向对(dui)球面(mian)(mian)进行抛光(guang)(guang)(guang)，使(shi)非球面(mian)(mian)透镜的(de)中(zhong)心(xin)(xin)偏差(cha)满足光(guang)(guang)(guang)学(xue)系统设(she)计(ji)的(de)要(yao)求(qiu)。由于非球面(mian)(mian)已加工(gong)到一定精(jing)度要(yao)求(qiu)，因此对(dui)球面(mian)(mian)的(de)抛光(guang)(guang)(guang)和(he)磨(mo)削是纠正非球面(mian)(mian)透镜中(zhong)心(xin)(xin)偏差(cha)的(de)主要(yao)方法。利用轴对(dui)称高阶非球面(mian)(mian)曲线的(de)数学(xue)模型计(ji)算被(bei)测(ce)环D带的(de)旋转角度θ，即光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共焦(jiao)位移传感(gan)器(qi)的(de)工(gong)作角。昌(chang)平区(qu)光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共焦(jiao)生产厂家哪家好光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共焦(jiao)技术(shu)在航(hang)空航(hang)天(tian)领域可以用于航(hang)空发动机(ji)和(he)航(hang)天(tian)器(qi)部件的(de)精(jing)度检(jian)测(ce)。

光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)共(gong)焦位(wei)移(yi)(yi)传感(gan)(gan)器(qi)基本原理如图1所示，由光(guang)(guang)(guang)(guang)源、分(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)镜(jing)、光(guang)(guang)(guang)(guang)学(xue)色散(san)(san)镜(jing)头(tou)(tou)(tou)组、小(xiao)孔以(yi)及光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)仪(yi)等部分(fen)组成(cheng)。传感(gan)(gan)器(qi)通过色散(san)(san)镜(jing)头(tou)(tou)(tou)进行(xing)色散(san)(san)，将(jiang)位(wei)移(yi)(yi)信(xin)息(xi)转换成(cheng)波长(zhang)信(xin)息(xi)，使用光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)仪(yi)进行(xing)光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)分(fen)解(jie)得出波长(zhang)的(de)变化信(xin)息(xi)，再反(fan)(fan)解(jie)得出被测位(wei)移(yi)(yi)。其中色散(san)(san)镜(jing)头(tou)(tou)(tou)作为光(guang)(guang)(guang)(guang)学(xue)部分(fen)完(wan)成(cheng)了(le)波长(zhang)和(he)(he)位(wei)移(yi)(yi)的(de)一一映射(she)，实(shi)现(xian)了(le)波长(zhang)和(he)(he)位(wei)移(yi)(yi)之(zhi)间的(de)编码转化。光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)仪(yi)则实(shi)现(xian)波长(zhang)的(de)测量及位(wei)移(yi)(yi)反(fan)(fan)解(jie)输出。当光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)信(xin)息(xi)突破小(xiao)孔的(de)限制，借助平面光(guang)(guang)(guang)(guang)栅、凹面反(fan)(fan)射(she)镜(jing)进行(xing)光(guang)(guang)(guang)(guang)线的(de)衍(yan)射(she)和(he)(he)汇聚，将(jiang)反(fan)(fan)射(she)出来(lai)的(de)汇聚光(guang)(guang)(guang)(guang)照(zhao)射(she)在线阵CCD上进行(xing)光(guang)(guang)(guang)(guang)电转换，借助光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)信(xin)号(hao)采(cai)集(ji)实(shi)现(xian)模(mo)数转换， 通过解(jie)码得到位(wei)移(yi)(yi)信(xin)息(xi)。

为(wei)了(le)提(ti)高(gao)加工检测(ce)(ce)(ce)效率(lv)，实现尺寸(cun)形位(wei)公差(cha)与微观轮(lun)廓的(de)(de)同(tong)平台测(ce)(ce)(ce)量(liang)，提(ti)出一(yi)种基于光谱(pu)共焦(jiao)(jiao)位(wei)移传(chuan)感器(qi)在(zai)现场坐(zuo)标(biao)测(ce)(ce)(ce)量(liang)平台上集成表(biao)(biao)面(mian)粗(cu)(cu)糙度测(ce)(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)方(fang)法。搭(da)建实验测(ce)(ce)(ce)量(liang)系(xi)统且在(zai)Lab VIEW平台上开发系(xi)统的(de)(de)硬件(jian)(jian)通讯控制(zhi)模块(kuai)，并(bing)配套了(le)高(gao)斯轮(lun)廓滤波处理及表(biao)(biao)面(mian)粗(cu)(cu)糙度的(de)(de)评价环境，建立了(le)非接(jie)触的(de)(de)表(biao)(biao)面(mian)粗(cu)(cu)糙度测(ce)(ce)(ce)量(liang)能(neng)力。对标(biao)准台阶、表(biao)(biao)面(mian)粗(cu)(cu)糙度标(biao)准样块(kuai)和曲面(mian)轮(lun)廓样品(pin)进行了(le)测(ce)(ce)(ce)量(liang)，实验结果表(biao)(biao)明:该(gai)测(ce)(ce)(ce)量(liang)系(xi)统具(ju)有(you)较高(gao)的(de)(de)测(ce)(ce)(ce)量(liang)精度和重复性，粗(cu)(cu)糙度参数Ｒa的(de)(de)测(ce)(ce)(ce)量(liang)重复性为(wei)0.0026μm，在(zai)优化零件(jian)(jian)检测(ce)(ce)(ce)流(liu)程和提(ti)高(gao)整体检测(ce)(ce)(ce)效率(lv)等方(fang)面(mian)具(ju)有(you)一(yi)定的(de)(de)应用前景。光谱(pu)共焦(jiao)(jiao)技术(shu)具(ju)有(you)轴向按层分析功能(neng)，精度可以达(da)到纳米(mi)级别(bie)。

硅片(pian)栅(zha)(zha)线(xian)的(de)(de)(de)(de)厚度(du)(du)(du)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)方(fang)法我(wo)们(men)(men)还(hai)用创视智能(neng)(neng)TS-C系(xi)列光(guang)谱(pu)(pu)共焦(jiao)传(chuan)(chuan)感器和CCS控制(zhi)器，TS-C系(xi)列光(guang)谱(pu)(pu)共焦(jiao)位(wei)移传(chuan)(chuan)感器能(neng)(neng)够实现0.025 µm的(de)(de)(de)(de)重复精度(du)(du)(du)，±0.02% of F.S.的(de)(de)(de)(de)线(xian)性(xing)精度(du)(du)(du)，10kHz的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)速度(du)(du)(du)，以及±60°的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)角度(du)(du)(du)，能(neng)(neng)够适应(ying)镜(jing)面(mian)(mian)、透(tou)明、半透(tou)明、膜层、金属粗(cu)糙面(mian)(mian)、多层玻(bo)璃等材料表(biao)面(mian)(mian)，支持485、USB、以太网、模拟量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)数据传(chuan)(chuan)输(shu)接口。。我(wo)们(men)(men)主(zhu)要(yao)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)太阳能(neng)(neng)光(guang)伏(fu)板硅片(pian)删线(xian)的(de)(de)(de)(de)厚度(du)(du)(du)，所以我(wo)们(men)(men)这(zhei)次用单(dan)探头在(zai)二(er)维运动平(ping)台上进行(xing)扫(sao)描测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)。栅(zha)(zha)线(xian)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)方(fang)法：首先我(wo)们(men)(men)将需要(yao)扫(sao)描测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)硅片(pian)选择三个区(qu)域进行(xing)标记如(ru)图(tu)1，用光(guang)谱(pu)(pu)共焦(jiao)C1200单(dan)探头单(dan)侧测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)，栅(zha)(zha)线(xian)厚度(du)(du)(du)是栅(zha)(zha)线(xian)高度(du)(du)(du)-基底的(de)(de)(de)(de)高度(du)(du)(du)差(cha)。二(er)维运动平(ping)台扫(sao)描测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)（由于栅(zha)(zha)线(xian)不是一个平(ping)整面(mian)(mian)，自身有(you)一定的(de)(de)(de)(de)曲率(lv)，对测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)区(qu)域的(de)(de)(de)(de)选择随机性(xing)影(ying)响(xiang)较大）光(guang)谱(pu)(pu)共焦(jiao)技术具有(you)很(hen)大的(de)(de)(de)(de)市场潜(qian)力。崇明区(qu)光(guang)谱(pu)(pu)共焦(jiao)供应(ying)

光谱共焦(jiao)位移传感器可以实现对(dui)材(cai)料(liao)的(de)微小变形进行(xing)精(jing)确测量，对(dui)于研究材(cai)料(liao)的(de)性能具有重要意义。徐汇区光谱共焦(jiao)详情

光谱(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)技术是(shi)在共(gong)焦(jiao)(jiao)显微术基础(chu)(chu)上(shang)(shang)发(fa)展而(er)来(lai)，其(qi)无需轴(zhou)向扫描，直接由波长对(dui)(dui)应(ying)轴(zhou)向距离信息，从(cong)而(er)大(da)(da)(da)幅(fu)提高(gao)测(ce)量(liang)(liang)(liang)速(su)度(du)(du)(du)。而(er)基于(yu)光谱(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)技术的(de)(de)传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)是(shi)近年(nian)来(lai)出现(xian)的(de)(de)一种高(gao)精(jing)(jing)度(du)(du)(du)、非接触式的(de)(de)新(xin)型传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)，精(jing)(jing)度(du)(du)(du)理论上(shang)(shang)可达(da) nm 量(liang)(liang)(liang)级(ji)。由于(yu)光谱(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)对(dui)(dui)被测(ce)表(biao)面状况(kuang)要(yao)求低(di)，允许被测(ce)表(biao)面有更(geng)大(da)(da)(da)的(de)(de)倾斜角，测(ce)量(liang)(liang)(liang)速(su)度(du)(du)(du)快(kuai)，实时性高(gao)，迅速(su)成为工业测(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)热(re)门传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)，大(da)(da)(da)量(liang)(liang)(liang)应(ying)用于(yu)精(jing)(jing)密定位、薄膜厚(hou)度(du)(du)(du)测(ce)量(liang)(liang)(liang)、微观(guan)轮廓(kuo)精(jing)(jing)密测(ce)量(liang)(liang)(liang)等领(ling)域。本文在论述光谱(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)技术原理的(de)(de)基础(chu)(chu)上(shang)(shang)，列举了光谱(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)在几何量(liang)(liang)(liang)计量(liang)(liang)(liang)测(ce)试中的(de)(de)典型应(ying)用，探(tan)讨共(gong)焦(jiao)(jiao)技术在未来(lai)精(jing)(jing)密测(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)进(jin)一步应(ying)用，展望其(qi)发(fa)展前景。徐汇区光谱(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)详情

本文来自(zi)海(hai)润达物联科技有(you)限(xian)责(ze)任公司：//qfd1mz.cn/Article/50d0599944.html