激(ji)光(guang)(guang)位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器的(de)(de)(de)(de)线(xian)性(xing)(xing)精(jing)(jing)(jing)度(du)参(can)数(shu)(shu)可(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)定(ding)义(yi)为(wei)(wei)其(qi)在所(suo)测(ce)(ce)量(liang)位(wei)移(yi)(yi)(yi)范(fan)围内(nei)的(de)(de)(de)(de)误差。该参(can)数(shu)(shu)可(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)通过一(yi)定(ding)的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)试(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)方(fang)法进(jin)行测(ce)(ce)量(liang)和(he)(he)评(ping)估。为(wei)(wei)了(le)保证(zheng)测(ce)(ce)试(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)结(jie)果的(de)(de)(de)(de)准(zhun)确性(xing)(xing)，通常(chang)需要(yao)使用(yong)高(gao)(gao)(gao)(gao)(gao)精(jing)(jing)(jing)度(du)的(de)(de)(de)(de)标(biao)准(zhun)位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器或(huo)其(qi)他测(ce)(ce)量(liang)设(she)备作为(wei)(wei)参(can)照，以(yi)(yi)(yi)(yi)确保测(ce)(ce)试(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)系统(tong)的(de)(de)(de)(de)可(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)重(zhong)复(fu)性(xing)(xing)和(he)(he)精(jing)(jing)(jing)度(du)。测(ce)(ce)试(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)方(fang)法可(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)采用(yong)多种方(fang)式，如标(biao)准(zhun)偏差法、小二(er)乘法、方(fang)差分析(xi)法等。通过对线(xian)性(xing)(xing)精(jing)(jing)(jing)度(du)参(can)数(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)试(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)和(he)(he)评(ping)估，可(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)有效地评(ping)估激(ji)光(guang)(guang)位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器的(de)(de)(de)(de)性(xing)(xing)能(neng)和(he)(he)可(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)靠(kao)性(xing)(xing)，为(wei)(wei)其(qi)在实际(ji)应用(yong)中(zhong)的(de)(de)(de)(de)优化提(ti)(ti)(ti)供参(can)考(kao)依据。为(wei)(wei)了(le)优化激(ji)光(guang)(guang)位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器的(de)(de)(de)(de)线(xian)性(xing)(xing)精(jing)(jing)(jing)度(du)参(can)数(shu)(shu)，需从(cong)多个方(fang)面进(jin)行考(kao)虑。首先，可(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)通过优化激(ji)光(guang)(guang)源的(de)(de)(de)(de)功率(lv)和(he)(he)波长，以(yi)(yi)(yi)(yi)及优化光(guang)(guang)路设(she)计(ji)和(he)(he)光(guang)(guang)学(xue)元(yuan)件的(de)(de)(de)(de)选用(yong)来提(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)(gao)(gao)其(qi)测(ce)(ce)量(liang)精(jing)(jing)(jing)度(du)。其(qi)次，可(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)采用(yong)高(gao)(gao)(gao)(gao)(gao)精(jing)(jing)(jing)度(du)的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)电(dian)转换器和(he)(he)信号(hao)放大处理(li)电(dian)路来提(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)(gao)(gao)信号(hao)质量(liang)和(he)(he)抗干扰能(neng)力。另外，还可(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)通过改进(jin)激(ji)光(guang)(guang)位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器的(de)(de)(de)(de)机械(xie)结(jie)构和(he)(he)控制系统(tong)，提(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)(gao)(gao)其(qi)稳定(ding)性(xing)(xing)和(he)(he)重(zhong)复(fu)性(xing)(xing)。同时(shi)，在测(ce)(ce)试(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)过程中(zhong)，需要(yao)严格(ge)控制测(ce)(ce)试(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)环境和(he)(he)测(ce)(ce)试(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)条件，以(yi)(yi)(yi)(yi)减小外界干扰对测(ce)(ce)试(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)结(jie)果的(de)(de)(de)(de)影响，从(cong)而提(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)(gao)(gao)测(ce)(ce)试(shi)(shi)(shi)(shi)(shi)的(de)(de)(de)(de)准(zhun)确性(xing)(xing)和(he)(he)可(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)靠(kao)性(xing)(xing)。通过这些(xie)优化措施，可(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)有效地提(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)(gao)(gao)激(ji)光(guang)(guang)位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器的(de)(de)(de)(de)线(xian)性(xing)(xing)精(jing)(jing)(jing)度(du)参(can)数(shu)(shu)，使其(qi)更加适用(yong)于工业生(sheng)产(chan)和(he)(he)科学(xue)研究领域的(de)(de)(de)(de)高(gao)(gao)(gao)(gao)(gao)精(jing)(jing)(jing)度(du)测(ce)(ce)量(liang)需求(qiu)。激(ji)光(guang)(guang)位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器的(de)(de)(de)(de)技术发展(zhan)对于提(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)(gao)(gao)国际(ji)竞(jing)争力具有重(zhong)要(yao)的(de)(de)(de)(de)意(yi)义(yi)。普陀区(qu)新品(pin)位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)(gan)(gan)(gan)器

激(ji)光(guang)(guang)位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)斑(ban)(ban)尺(chi)寸(cun)参(can)数是指激(ji)光(guang)(guang)束所形成的(de)(de)(de)光(guang)(guang)斑(ban)(ban)在被测(ce)(ce)物(wu)体表面的(de)(de)(de)实(shi)际直(zhi)径(jing)大(da)小。光(guang)(guang)斑(ban)(ban)尺(chi)寸(cun)对位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)测(ce)(ce)量精度和(he)(he)分(fen)辨率(lv)具(ju)有重(zhong)要(yao)(yao)影响(xiang)。因此，对光(guang)(guang)斑(ban)(ban)尺(chi)寸(cun)的(de)(de)(de)测(ce)(ce)试(shi)是激(ji)光(guang)(guang)位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)研究中(zhong)的(de)(de)(de)一个重(zhong)要(yao)(yao)方(fang)(fang)面。测(ce)(ce)试(shi)方(fang)(fang)法主要(yao)(yao)是通(tong)过(guo)接(jie)收散射(she)光(guang)(guang)信号计(ji)算光(guang)(guang)斑(ban)(ban)直(zhi)径(jing)大(da)小，或者(zhe)通(tong)过(guo)对被测(ce)(ce)物(wu)体表面进(jin)行(xing)切割(ge)并(bing)利用显微镜观察光(guang)(guang)斑(ban)(ban)直(zhi)径(jing)大(da)小的(de)(de)(de)方(fang)(fang)法进(jin)行(xing)测(ce)(ce)试(shi)。光(guang)(guang)斑(ban)(ban)尺(chi)寸(cun)参(can)数的(de)(de)(de)定(ding)义(yi)(yi)(yi)与测(ce)(ce)量对于(yu)激(ji)光(guang)(guang)位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)应用和(he)(he)研究具(ju)有重(zhong)要(yao)(yao)意义(yi)(yi)(yi)。光(guang)(guang)斑(ban)(ban)尺(chi)寸(cun)大(da)小决定(ding)了位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)测(ce)(ce)量精度和(he)(he)分(fen)辨率(lv)，因此对光(guang)(guang)斑(ban)(ban)尺(chi)寸(cun)的(de)(de)(de)测(ce)(ce)试(shi)和(he)(he)定(ding)义(yi)(yi)(yi)是位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)研究中(zhong)的(de)(de)(de)一个重(zhong)要(yao)(yao)方(fang)(fang)面。在测(ce)(ce)试(shi)过(guo)程中(zhong)，需要(yao)(yao)对光(guang)(guang)斑(ban)(ban)进(jin)行(xing)精确测(ce)(ce)量，从(cong)而(er)确保位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)测(ce)(ce)量精度和(he)(he)可(ke)靠(kao)性。佳木斯新型位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)激(ji)光(guang)(guang)位(wei)移(yi)(yi)(yi)传(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)技(ji)术发展对于(yu)推(tui)动(dong)智能制造的(de)(de)(de)发展具(ju)有重(zhong)要(yao)(yao)的(de)(de)(de)意义(yi)(yi)(yi)。

激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)(wei)移传感(gan)器(qi)(qi)具(ju)有(you)结构小(xiao)巧(qiao)、测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)速(su)度快(kuai)、精(jing)(jing)度高(gao)、测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)小(xiao)、抗(kang)干扰能(neng)(neng)力强和(he)(he)(he)(he)非(fei)接(jie)(jie)触式的(de)(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)特(te)(te)点，因此(ci)在(zai)微(wei)位(wei)(wei)(wei)(wei)移测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)领(ling)(ling)域(yu)得到广泛应用(yong)。其测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)原理(li)(li)是(shi)利用(yong)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)单色和(he)(he)(he)(he)准直特(te)(te)性，将垂直入射测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)距面(mian)(mian)上(shang)的(de)(de)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)点通过光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)学系(xi)统将其缩小(xiao)的(de)(de)实(shi)(shi)像成(cheng)像在(zai)接(jie)(jie)收光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)敏面(mian)(mian)上(shang)。激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)(wei)移传感(gan)器(qi)(qi)由激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)发(fa)射、光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)学成(cheng)像系(xi)统、图像传感(gan)器(qi)(qi)、驱动(dong)电(dian)路、信(xin)号(hao)放大处理(li)(li)电(dian)路、单片机处理(li)(li)电(dian)路和(he)(he)(he)(he)数据输出部分组成(cheng)。这些组件共(gong)同作用(yong)，实(shi)(shi)现对微(wei)小(xiao)位(wei)(wei)(wei)(wei)移的(de)(de)精(jing)(jing)确(que)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)。激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)(wei)移传感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)小(xiao)巧(qiao)结构使(shi)其适用(yong)于(yu)各种空(kong)间(jian)有(you)限的(de)(de)应用(yong)场景，例如微(wei)机械加工、精(jing)(jing)密装配和(he)(he)(he)(he)生物(wu)(wu)医学领(ling)(ling)域(yu)。其快(kuai)速(su)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)速(su)度和(he)(he)(he)(he)高(gao)精(jing)(jing)度使(shi)其能(neng)(neng)够(gou)准确(que)获取微(wei)小(xiao)位(wei)(wei)(wei)(wei)移的(de)(de)数据，从而提高(gao)生产效率和(he)(he)(he)(he)质量(liang)(liang)(liang)控制水平。此(ci)外，激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)(wei)移传感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)非(fei)接(jie)(jie)触式测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)特(te)(te)点使(shi)其能(neng)(neng)够(gou)避免物(wu)(wu)体表面(mian)(mian)的(de)(de)损伤和(he)(he)(he)(he)污染，从而延长了传感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)使(shi)用(yong)寿命。总(zong)之，激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)(wei)移传感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)特(te)(te)点和(he)(he)(he)(he)优势使(shi)其成(cheng)为微(wei)位(wei)(wei)(wei)(wei)移测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)领(ling)(ling)域(yu)中不可或缺的(de)(de)重要工具(ju)。

激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)移传(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)在管(guan)(guan)道(dao)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)等行业(ye)应(ying)用方面(mian)具(ju)有(you)(you)普遍(bian)的(de)(de)(de)(de)用途(tu)(tu)。在管(guan)(guan)道(dao)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)中(zhong)(zhong)，激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)移传(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)可(ke)(ke)用于非接(jie)触(chu)式测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)管(guan)(guan)道(dao)的(de)(de)(de)(de)内(nei)径、壁(bi)厚、长(zhang)度(du)等参数，从而实(shi)现对(dui)管(guan)(guan)道(dao)质量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)检(jian)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)和(he)控(kong)制(zhi)。传(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)工作原理是(shi)利用光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)学(xue)三角法原理，通过将激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)发射光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)束投射到被测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)物体表面(mian)，接(jie)收反射光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)并将光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)信(xin)号转换(huan)为电(dian)信(xin)号输(shu)出(chu)，从而获取(qu)被测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)物体空间位(wei)(wei)置(zhi)信(xin)息。激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)移传(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)具(ju)有(you)(you)结构小巧、测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)速度(du)快、精(jing)(jing)度(du)高(gao)(gao)、测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑小、抗(kang)干扰(rao)能(neng)力(li)强和(he)非接(jie)触(chu)式的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)特点(dian)，可(ke)(ke)在管(guan)(guan)道(dao)内(nei)部实(shi)现高(gao)(gao)精(jing)(jing)度(du)的(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)移测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)。除了(le)在管(guan)(guan)道(dao)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)应(ying)用，激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)移传(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)在其他行业(ye)也有(you)(you)着普遍(bian)的(de)(de)(de)(de)应(ying)用。例如(ru)，在机械(xie)制(zhi)造(zao)行业(ye)中(zhong)(zhong)，激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)移传(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)可(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)用于测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)机械(xie)零(ling)件(jian)的(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)移和(he)变(bian)形(xing)，以(yi)(yi)(yi)(yi)实(shi)现对(dui)机械(xie)零(ling)件(jian)的(de)(de)(de)(de)质量(liang)(liang)控(kong)制(zhi)和(he)优化。在航空航天领域中(zhong)(zhong)，激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)移传(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)可(ke)(ke)用于对(dui)飞(fei)机机身的(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)移测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)，以(yi)(yi)(yi)(yi)保(bao)证(zheng)飞(fei)机的(de)(de)(de)(de)飞(fei)行安全和(he)稳(wen)定性(xing)(xing)。在电(dian)子(zi)制(zhi)造(zao)领域中(zhong)(zhong)，激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)移传(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)可(ke)(ke)用于对(dui)电(dian)子(zi)元(yuan)件(jian)的(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)移和(he)形(xing)变(bian)进行测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)，以(yi)(yi)(yi)(yi)保(bao)证(zheng)电(dian)子(zi)元(yuan)件(jian)的(de)(de)(de)(de)性(xing)(xing)能(neng)和(he)可(ke)(ke)靠(kao)性(xing)(xing)。综上所述，激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)移传(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)在管(guan)(guan)道(dao)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)等行业(ye)应(ying)用中(zhong)(zhong)具(ju)有(you)(you)普遍(bian)的(de)(de)(de)(de)用途(tu)(tu)，其具(ju)有(you)(you)结构小巧、测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)速度(du)快、精(jing)(jing)度(du)高(gao)(gao)、测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑小、抗(kang)干扰(rao)能(neng)力(li)强和(he)非接(jie)触(chu)式的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)特点(dian)，可(ke)(ke)实(shi)现高(gao)(gao)精(jing)(jing)度(du)的(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)移测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)。激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)移传(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)是(shi)一种高(gao)(gao)精(jing)(jing)度(du)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)仪(yi)器(qi)(qi)(qi)，可(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)物体的(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)移。

随后安装(zhuang)在(zai)贴(tie)(tie)(tie)(tie)装(zhuang)台(tai)(tai)(tai)单元上(shang)的(de)(de)(de)(de)激光位移(yi)传(chuan)感(gan)器(qi)(qi)403检测键(jian)合(he)(he)(he)头370上(shang)拾取的(de)(de)(de)(de)芯(xin)片(pian)的(de)(de)(de)(de)倾角，结(jie)合(he)(he)(he)两(liang)位移(yi)传(chuan)感(gan)器(qi)(qi)360和403的(de)(de)(de)(de)初始角度差值，利用(yong)调(diao)平机构340对芯(xin)片(pian)做出(chu)与贴(tie)(tie)(tie)(tie)装(zhuang)台(tai)(tai)(tai)401上(shang)贴(tie)(tie)(tie)(tie)装(zhuang)位间的(de)(de)(de)(de)平行调(diao)整；其调(diao)平的(de)(de)(de)(de)具(ju)体实现(xian)过程如下：音圈电机343动作，从而(er)(er)实现(xian)音圈模组341产生(sheng)平行于(yu)电机轴(zhou)向(xiang)的(de)(de)(de)(de)位移(yi)，继而(er)(er)导致下方动平台(tai)(tai)(tai)342产生(sheng)绕(rao)u轴(zhou)或者(zhe)v轴(zhou)（与u轴(zhou)垂直）方向(xiang)的(de)(de)(de)(de)转动，从而(er)(er)实现(xian)动平台(tai)(tai)(tai)342倾角的(de)(de)(de)(de)调(diao)整，使(shi)得(de)连接(jie)在(zai)动平台(tai)(tai)(tai)上(shang)的(de)(de)(de)(de)键(jian)合(he)(he)(he)头370与贴(tie)(tie)(tie)(tie)装(zhuang)台(tai)(tai)(tai)401上(shang)基板贴(tie)(tie)(tie)(tie)装(zhuang)位平行，保证键(jian)合(he)(he)(he)压力均匀；激光位移(yi)传(chuan)感(gan)器(qi)(qi)在(zai)工业生(sheng)产和科(ke)学研究中有着(zhe)广泛的(de)(de)(de)(de)应用(yong)。泰安有哪(na)些位移(yi)传(chuan)感(gan)器(qi)(qi)

激光位移传感(gan)器的研究对于提高测量精度(du)具有(you)重要作用。普陀区新品位移传感(gan)器

第三视觉(jue)定(ding)位包(bao)括分(fen)别(bie)布置在(zai)(zai)多(duo)(duo)自(zi)(zi)由(you)(you)度键合头(tou)(tou)300和(he)(he)(he)贴(tie)装(zhuang)台单(dan)元(yuan)(yuan)401上(shang)的(de)激光位移(yi)传(chuan)感器360、403，它(ta)们相(xiang)互(hu)(hu)配(pei)合并用(yong)(yong)于(yu)对(dui)(dui)键合头(tou)(tou)所(suo)拾(shi)(shi)取芯片和(he)(he)(he)基(ji)板(ban)各自(zi)(zi)相(xiang)对(dui)(dui)于(yu)XY平面的(de)倾角进行精确测(ce)量及(ji)定(ding)位；第四(si)视觉(jue)定(ding)位系统包(bao)括布置在(zai)(zai)多(duo)(duo)自(zi)(zi)由(you)(you)度键合头(tou)(tou)上(shang)并由(you)(you)相(xiang)机351和(he)(he)(he)平面镜(jing)352共同组成的(de)飞行视觉(jue)模块350，以及(ji)布置在(zai)(zai)贴(tie)装(zhuang)台单(dan)元(yuan)(yuan)上(shang)的(de)平面镜(jing)404，它(ta)们相(xiang)互(hu)(hu)配(pei)合并用(yong)(yong)于(yu)对(dui)(dui)键合头(tou)(tou)所(suo)拾(shi)(shi)取芯片的(de)位置及(ji)基(ji)板(ban)贴(tie)装(zhuang)位置进行粗测(ce)；第五视觉(jue)定(ding)位系统包(bao)括分(fen)别(bie)布置在(zai)(zai)多(duo)(duo)自(zi)(zi)由(you)(you)度键合头(tou)(tou)和(he)(he)(he)贴(tie)装(zhuang)头(tou)(tou)单(dan)元(yuan)(yuan)上(shang)的(de)相(xiang)机402、390，它(ta)们相(xiang)互(hu)(hu)配(pei)合并用(yong)(yong)于(yu)对(dui)(dui)键合头(tou)(tou)所(suo)拾(shi)(shi)取芯片的(de)位置及(ji)基(ji)板(ban)贴(tie)装(zhuang)位置执行精测(ce)。普(pu)陀区新品位移(yi)传(chuan)感器

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