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作为半导体(ti)行(xing)业重要的(de)一环，晶(jing)圆(yuan)导片机(ji)sorter/EFEM在半导体(ti)生产线上扮演着举足轻重的(de)角(jiao)色(se)。 晶(jing)圆(yuan)导片机(ji)广(guang)泛应用(yong)于半导体(ti)制(zhi)造、光电子、微(wei)电子、纳米(mi)(mi)技(ji)术等(deng)领域。在半导体(ti)制(zhi)造领域，它被用(yong)于将加工(gong)后的(de)晶(jing)圆(yuan)从(cong)一台设备(bei)转移到另(ling)(ling)一台设备(bei)，例如从(cong)光刻机(ji)到涂胶/显(xian)影机(ji)，或者从(cong)干蚀刻机(ji)到湿蚀刻机(ji)等(deng)。此(ci)外，晶(jing)圆(yuan)导片机(ji)还被用(yong)于光电子、微(wei)电子、纳米(mi)(mi)技(ji)术等(deng)领域中的(de)精密实验和(he)测(ce)试(shi)工(gong)作中，例如在研究纳米(mi)(mi)级材料的(de)物理和(he)化学(xue)性(xing)质(zhi)时，需(xu)要将样品从(cong)一台测(ce)试(shi)设备(bei)转移到另(ling)(ling)一台测(ce)试(shi)设备(bei)中进行(xing)多步测(ce)量。

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