随着工业(ye)快速的(de)(de)(de)发(fa)展，对精密测(ce)(ce)量(liang)技术的(de)(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)越来越高(gao)(gao)(gao)，位(wei)(wei)移(yi)测(ce)(ce)量(liang)技术作为几何(he)量(liang)精密测(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)(de)基(ji)础(chu)，不仅需(xu)要(yao)(yao)超(chao)(chao)高(gao)(gao)(gao)测(ce)(ce)量(liang)精度，而且(qie)需(xu)要(yao)(yao)对环境(jing)和材(cai)料(liao)的(de)(de)(de)大(da)量(liang)适(shi)应(ying)性，并且(qie)逐步趋于(yu)(yu)实时、无损检(jian)测(ce)(ce)。与传(chuan)统接(jie)触(chu)式测(ce)(ce)量(liang)方法相比，光谱(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)位(wei)(wei)移(yi)传(chuan)感(gan)器具有高(gao)(gao)(gao)速度，高(gao)(gao)(gao)精度，高(gao)(gao)(gao)适(shi)应(ying)性等明显优势。本(ben)文通过(guo)对光谱(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)传(chuan)感(gan)器应(ying)用场(chang)景的(de)(de)(de)分(fen)析，有助于(yu)(yu)广大(da)读者进一步加(jia)深(shen)对光谱(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)传(chuan)感(gan)器技术的(de)(de)(de)理解。得(de)益(yi)于(yu)(yu)纳米级(ji)精度及(ji)超(chao)(chao)好的(de)(de)(de)角度特性，光谱(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)位(wei)(wei)移(yi)传(chuan)感(gan)器可(ke)用于(yu)(yu)对表(biao)面(mian)粗(cu)糙度进行(xing)高(gao)(gao)(gao)精度测(ce)(ce)量(liang)。相对于(yu)(yu)传(chuan)统的(de)(de)(de)接(jie)触(chu)式粗(cu)糙度仪，光谱(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)位(wei)(wei)移(yi)传(chuan)感(gan)器以(yi)更高(gao)(gao)(gao)的(de)(de)(de)速度采(cai)集粗(cu)糙度轮(lun)廓，并且(qie)对产品表(biao)面(mian)无任何(he)损伤。光谱(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)技术在材(cai)料(liao)科学领域可(ke)以(yi)用于(yu)(yu)材(cai)料(liao)表(biao)面(mian)和内部的(de)(de)(de)成(cheng)像和分(fen)析。宿州光谱(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)的(de)(de)(de)用途(tu)和特点(dian)

精密几何量(liang)计量(liang)测(ce)试中(zhong)光(guang)(guang)谱(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)技(ji)(ji)(ji)术(shu)的(de)(de)(de)(de)应(ying)(ying)用(yong)(yong)十分(fen)(fen)重要(yao)，其能够让(rang)光(guang)(guang)谱(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)技(ji)(ji)(ji)术(shu)的(de)(de)(de)(de)应(ying)(ying)用(yong)(yong)效率得到提升。在进行(xing)应(ying)(ying)用(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)过程中(zhong)，其首(shou)先需要(yao)对光(guang)(guang)谱(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)技(ji)(ji)(ji)术(shu)的(de)(de)(de)(de)原理进行(xing)分(fen)(fen)析，然后对其计量(liang)的(de)(de)(de)(de)传感器(qi)(qi)进行(xing)综合性的(de)(de)(de)(de)应(ying)(ying)用(yong)(yong)。从(cong)而获取较为准确(que)的(de)(de)(de)(de)测(ce)量(liang)数据。让(rang)光(guang)(guang)谱(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)技(ji)(ji)(ji)术(shu)的(de)(de)(de)(de)应(ying)(ying)用(yong)(yong)效果发(fa)挥出来(lai)(lai)。光(guang)(guang)谱(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)位(wei)移传感器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)工(gong)作原理就(jiu)是(shi)使用(yong)(yong)宽谱(pu)光(guang)(guang)源(yuan)照射到被测(ce)物体的(de)(de)(de)(de)表面，再通过光(guang)(guang)谱(pu)仪探测(ce)反射回来(lai)(lai)的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)谱(pu)，光(guang)(guang)源(yuan)发(fa)出的(de)(de)(de)(de)具有(you)(you)宽光(guang)(guang)诺的(de)(de)(de)(de)复色光(guang)(guang) 近(jin)似为点光(guang)(guang)源(yuan)。在未来(lai)(lai)，光(guang)(guang)谱(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)技(ji)(ji)(ji)术(shu)将继续发(fa)展，为更(geng)多领(ling)域带来(lai)(lai)创新和(he)(he)改善。通过不断的(de)(de)(de)(de)研究(jiu)和(he)(he)应(ying)(ying)用(yong)(yong)，我们(men)可(ke)(ke)以期待(dai)看到更(geng)多令人(ren)振奋的(de)(de)(de)(de)成(cheng)果，使光(guang)(guang)谱(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)技(ji)(ji)(ji)术(shu)成(cheng)为科学和(he)(he)工(gong)程领(ling)域的(de)(de)(de)(de)不可(ke)(ke)或缺的(de)(de)(de)(de)一部分(fen)(fen)，为测(ce)量(liang)和(he)(he)测(ce)试提供(gong)更(geng)多可(ke)(ke)能性。昌平区(qu)有(you)(you)哪些(xie)光(guang)(guang)谱(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)光(guang)(guang)谱(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)技(ji)(ji)(ji)术(shu)具有(you)(you)轴向按层分(fen)(fen)析功能，精度可(ke)(ke)以达(da)到纳米级别。

在(zai)塑料(liao)薄(bo)膜及透(tou)(tou)明材料(liao)薄(bo)厚(hou)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)层面(mian)(mian)，朱万彬等(deng)阐(chan)述了光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)传(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)在(zai)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)全(quan)(quan)透(tou)(tou)明平(ping)板电(dian)脑的(de)平(ping)整度(du)(du)(du)时，由全(quan)(quan)透(tou)(tou)明平(ping)板电(dian)脑的(de)折光(guang)(guang)(guang)率不同(tong)而引进(jin)(jin)的(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)误(wu)(wu)(wu)差(cha)并(bing)进(jin)(jin)行(xing)补偿；曹太腾等(deng)基千三维数据 测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)机(ji)器(qi)(qi)(qi)视觉技术，利用光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)传(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)对透(tou)(tou)明材料(liao)薄(bo)厚(hou)及弧形玻璃(li)曲面(mian)(mian)薄(bo)厚(hou)进(jin)(jin)行(xing)检测(ce)(ce)(ce)(ce)。在(zai)外表粗(cu)(cu)糙度(du)(du)(du)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)层面(mian)(mian)，沈雪(xue)琴等(deng)阐(chan)述了不一(yi)样 方式测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)外表粗(cu)(cu)糙度(du)(du)(du)时优(you)缺点(dian) ，选择了根据光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)传(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)方式并(bing)进(jin)(jin)行(xing)了有(you)(you)关试(shi)验(yan)，为(wei)外表粗(cu)(cu)糙度(du)(du)(du)的(de)高精密测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)提(ti)供了一(yi)种新方法(fa)；林杰(jie)俊等(deng)利用光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)法(fa)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)外表粗(cu)(cu)糙度(du)(du)(du)样块的(de)表面(mian)(mian)粗(cu)(cu)糙度(du)(du)(du)，并(bing)阐(chan)述了其(qi) 测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)不确定度(du)(du)(du)。文中利用小二乘(cheng)法(fa)测(ce)(ce)(ce)(ce)算(suan)校准(zhun)误(wu)(wu)(wu)差(cha)并(bing)进(jin)(jin)行(xing)了离散系(xi)统(tong)误(wu)(wu)(wu)差(cha)测(ce)(ce)(ce)(ce)算(suan)，减少(shao)光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)传(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)校准(zhun)后的(de)误(wu)(wu)(wu)差(cha)，并(bing)在(zai)不同(tong)精密度(du)(du)(du)标准(zhun)器(qi)(qi)(qi)下(xia)，探(tan)寻光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)传(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)校准(zhun)误(wu)(wu)(wu)差(cha)的(de)变化(hua)情(qing)况，对今后对光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)传(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)的(de)应用及科学研究拥有(you)(you)重要意义。

光(guang)谱(pu)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)技术(shu)由于(yu)(yu)其(qi)具有测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)精(jing)度(du)高、测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)速(su)(su)度(du)快(kuai)、可以实现非接(jie)触测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)独特优势而(er)被大(da)量(liang)(liang)(liang)应(ying)用于(yu)(yu)工业级测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)。让(rang)我们(men)先(xian)来(lai)(lai)(lai)看一(yi)下光(guang)谱(pu)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)技术(shu)的(de)(de)(de)(de)起源和光(guang)谱(pu)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)技术(shu)在(zai)精(jing)密几何量(liang)(liang)(liang)计(ji)量(liang)(liang)(liang)测(ce)(ce)(ce)(ce)试中的(de)(de)(de)(de)成(cheng)(cheng)熟典型(xing)应(ying)用。共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)显(xian)微(wei)术(shu)的(de)(de)(de)(de)概念(nian)首先(xian)是由美(mei)(mei)国(guo)的(de)(de)(de)(de) Minsky 于(yu)(yu) 1955年(nian)(nian)提出(chu), 其(qi)利用共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)原理搭(da)建台(tai)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)显(xian)微(wei)镜, 并于(yu)(yu)1957年(nian)(nian)申请了(le)专利。自(zi)20世纪90年(nian)(nian)代, 随(sui)着(zhe)计(ji)算机技术(shu)的(de)(de)(de)(de)飞速(su)(su)发(fa)展, 共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)显(xian)微(wei)术(shu)成(cheng)(cheng)了(le)研究(jiu)的(de)(de)(de)(de)热点，得(de)到快(kuai)速(su)(su)的(de)(de)(de)(de)发(fa)展。光(guang)谱(pu)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)技术(shu)是在(zai)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)显(xian)微(wei)术(shu)基(ji)础上发(fa)展而(er)来(lai)(lai)(lai),其(qi)无需轴(zhou)向(xiang)扫描(miao), 直接(jie)由波(bo)长对应(ying)轴(zhou)向(xiang)距(ju)离信息, 从而(er)大(da)幅提高测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)速(su)(su)度(du)。 而(er)基(ji)于(yu)(yu)光(guang)谱(pu)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)技术(shu)的(de)(de)(de)(de)传感器(qi)是近年(nian)(nian)来(lai)(lai)(lai)出(chu)现的(de)(de)(de)(de)一(yi)种高精(jing)度(du)、 非接(jie)触式的(de)(de)(de)(de)新型(xing)传感器(qi), 目前(qian)精(jing)度(du)上可达(da)nm量(liang)(liang)(liang)级。 共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)术(shu)由于(yu)(yu)其(qi)高精(jing)度(du)、允许被测(ce)(ce)(ce)(ce)表面有更大(da)的(de)(de)(de)(de)倾斜角、测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)速(su)(su)度(du)快(kuai)、实时性高、对被测(ce)(ce)(ce)(ce)表面状况要求低、以及高分辨率(lv)的(de)(de)(de)(de)独特优势，迅速(su)(su)成(cheng)(cheng)为工业测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)热门传感器(qi)，在(zai)生物(wu)医学、材(cai)料科(ke)学、半导体制造、 表面工程研究(jiu)、 精(jing)密测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)等领域得(de)到大(da)量(liang)(liang)(liang)应(ying)用。光(guang)谱(pu)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)技术(shu)主要来(lai)(lai)(lai)自(zi)共(gong)(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)显(xian)微(wei)术(shu)，早期由美(mei)(mei)国(guo)学者(zhe)Minsky提出(chu)。

随着机械加工水平的(de)不断(duan)发展，各种的(de)微小的(de)复杂工件都需(xu)要进(jin)行(xing)精(jing)(jing)密尺(chi)寸(cun)(cun)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)与(yu)轮(lun)廓(kuo)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)，例如：小工件内(nei)壁沟槽(cao)尺(chi)寸(cun)(cun)、小圆倒角等的(de)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)，对(dui)(dui)于某(mou)些(xie)(xie)精(jing)(jing)密光(guang)学元件可(ke)以(yi)进(jin)行(xing)非(fei)接(jie)触(chu)的(de)轮(lun)廓(kuo)形貌测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)，避免在(zai)接(jie)触(chu)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)时划(hua)伤光(guang)学表(biao)面，解决(jue)(jue)了传(chuan)统(tong)传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)很(hen)难解决(jue)(jue)的(de)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)难题(ti)(ti)。一些(xie)(xie)精(jing)(jing)密光(guang)学元件也需(xu)要进(jin)行(xing)非(fei)接(jie)触(chu)的(de)轮(lun)廓(kuo)形貌测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)，以(yi)避免接(jie)触(chu)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)时划(hua)伤光(guang)学表(biao)面。这些(xie)(xie)用(yong)(yong)传(chuan)统(tong)传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)难以(yi)解决(jue)(jue)的(de)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)难题(ti)(ti)，均可(ke)用(yong)(yong)光(guang)谱(pu)(pu)共焦(jiao)(jiao)传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)搭建测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)系(xi)统(tong)以(yi)解决(jue)(jue)。通过(guo)自行(xing)塔(ta)建的(de)二维(wei)纳米测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)定位(wei)装置，选用(yong)(yong)光(guang)谱(pu)(pu)其焦(jiao)(jiao)传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)作为测(ce)(ce)(ce)头，实(shi)现(xian)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)超精(jing)(jing)密零(ling)件的(de)二维(wei)尺(chi)寸(cun)(cun)，滚针对(dui)(dui)涡轮(lun)盘轮(lun)廓(kuo)度检(jian)测(ce)(ce)(ce)的(de)问题(ti)(ti)，利(li)用(yong)(yong)光(guang)谱(pu)(pu)共焦(jiao)(jiao)式(shi)位(wei)移(yi)传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)使得涡轮(lun)盘轮(lun)廓(kuo)度在(zai)线检(jian)测(ce)(ce)(ce)系(xi)统(tong)的(de)设计能够(gou)得以(yi)实(shi)现(xian)。与(yu)此同(tong)时，在(zai)进(jin)行(xing)几何量(liang)(liang)(liang)的(de)整体测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)过(guo)程中(zhong)，还(hai)需(xu)要采取多(duo)种不同(tong)的(de)方(fang)式(shi)对(dui)(dui)其结构体系(xi)进(jin)行(xing)优化。从而(er)让几何尺(chi)寸(cun)(cun)的(de)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)更为准确。光(guang)谱(pu)(pu)共焦(jiao)(jiao)位(wei)移(yi)传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)可(ke)以(yi)实(shi)现(xian)非(fei)接(jie)触(chu)式(shi)位(wei)移(yi)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)。丰(feng)台区光(guang)谱(pu)(pu)共焦(jiao)(jiao)厂家(jia)

光谱共焦(jiao)技术(shu)可以(yi)对生(sheng)物和材料的(de)物理、化(hua)学(xue)、生(sheng)物学(xue)等(deng)多个方面进行分析。宿州光谱共焦(jiao)的(de)用(yong)途和特点

共(gong)焦(jiao)测量(liang)(liang)方(fang)法由于具有高精(jing)度的(de)三维成(cheng)像能力，已经大(da)量(liang)(liang)用(yong)于表(biao)(biao)(biao)面轮(lun)廓与三维精(jing)细结(jie)(jie)构的(de)精(jing)密(mi)测量(liang)(liang)。本文通过分析白光(guang)共(gong)焦(jiao)光(guang)谱(pu)的(de)基本原(yuan)理(li)，建立(li)了透(tou)明(ming)(ming)靶丸(wan)(wan)内表(biao)(biao)(biao)面圆(yuan)(yuan)周(zhou)(zhou)轮(lun)廓测量(liang)(liang)校准模型;同时，基于白光(guang)共(gong)焦(jiao)光(guang)谱(pu)并结(jie)(jie)合精(jing)密(mi)旋转轴系(xi)，建立(li)了靶丸(wan)(wan)内表(biao)(biao)(biao)面圆(yuan)(yuan)周(zhou)(zhou)轮(lun)廓精(jing)密(mi)测量(liang)(liang)系(xi)统和(he)靶丸(wan)(wan)圆(yuan)(yuan)心(xin)精(jing)密(mi)定位(wei)方(fang)法，实现(xian)了透(tou)明(ming)(ming)靶丸(wan)(wan)内、外(wai)(wai)表(biao)(biao)(biao)面圆(yuan)(yuan)周(zhou)(zhou)轮(lun)廓的(de)纳米级精(jing)度测量(liang)(liang)。用(yong)白光(guang)共(gong)焦(jiao)光(guang)谱(pu)测量(liang)(liang)靶丸(wan)(wan)壳(qiao)层内表(biao)(biao)(biao)面轮(lun)廓数(shu)据时，其测量(liang)(liang)结(jie)(jie)果与白光(guang)共(gong)焦(jiao)光(guang)谱(pu)传感(gan)器光(guang)线的(de)入(ru)射角、靶丸(wan)(wan)壳(qiao)层厚度、壳(qiao)层材料折射率、靶丸(wan)(wan)内外(wai)(wai)表(biao)(biao)(biao)面轮(lun)廓的(de)直接测量(liang)(liang)数(shu)据等因素(su)紧密(mi)相关。宿州(zhou)光(guang)谱(pu)共(gong)焦(jiao)的(de)用(yong)途和(he)特点

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