高致密性陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)真(zhen)空(kong)(kong)吸(xi)盘(pan)(多(duo)(duo)孔(kong)陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)真(zhen)空(kong)(kong)吸(xi)盘(pan))，特殊的多(duo)(duo)孔(kong)陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)材料其(qi)孔(kong)径为2~3微米(mi)，不易阻塞真(zhen)空(kong)(kong)力(li)大(da)，部份面(mian)积吸(xi)附,同时也可作气浮平台，广(guang)泛应用(yong)半导(dao)体、面(mian)板、雷射制程(cheng)及(ji)非接(jie)触(chu)线性滑(hua)轨。多(duo)(duo)孔(kong)陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)真(zhen)空(kong)(kong)吸(xi)盘(pan)是(shi)密封的空(kong)(kong)气来维持传输(shu)，装(zhuang)置应用(yong)用(yong)于(yu)平坦，无孔(kong)表面(mian)的工(gong)(gong)作平台。使(shi)用(yong)者通常(chang)是(shi)机器操作员。在金属加(jia)工(gong)(gong)领域，这是(shi)一(yi)项(xiang)安全可靠的工(gong)(gong)件传输(shu)。自动化搬(ban)运(yun)、对(dui)象(xiang)吸(xi)取、定(ding)位、精密网板印刷(shua)用(yong)工(gong)(gong)作台，利用(yong)孔(kong)洞透气性陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)(氧化铝或(huo)碳化硅)接(jie)上真(zhen)空(kong)(kong)吸(xi)力(li)，将工(gong)(gong)作物(wu)（包括(kuo)晶圆(yuan)、玻璃、PET膜或(huo)其(qi)他(ta)薄型(xing)工(gong)(gong)作物(wu)）放置陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)工(gong)(gong)作吸(xi)盘(pan)上，利用(yong)真(zhen)空(kong)(kong)吸(xi)力(li)使(shi)工(gong)(gong)作物(wu)固定(ding)，进行清洗、切割、研(yan)磨、网版印刷(shua)及(ji)其(qi)他(ta)加(jia)工(gong)(gong)程(cheng)序(xu)。微孔(kong)真(zhen)空(kong)(kong)陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)工(gong)(gong)作盘(pan)是(shi)各(ge)种半导(dao)体片生(sheng)产(chan)过(guo)(guo)程(cheng)中用(yong)于(yu)吸(xi)附及(ji)承载的**工(gong)(gong)具(ju)，应用(yong)于(yu)减薄、划片、清洗、搬(ban)运(yun)等工(gong)(gong)序(xu)。Fountyl公司生(sheng)产(chan)的工(gong)(gong)作盘(pan)可以(yi)和(he)日(ri)本、德国(guo)、以(yi)色列、美国(guo)及(ji)国(guo)产(chan)的设备配套使(shi)用(yong)，具(ju)有优(you)越(yue)的性能(neng)价格(ge)比。经过(guo)(guo)掺入高温(wen)（１5００℃）的溶蚀(shi)粘结(jie)物(wu).揭(jie)阳(yang)原装(zhuang)微孔(kong)陶(tao)(tao)(tao)(tao)瓷(ci)(ci)真(zhen)空(kong)(kong)吸(xi)盘(pan)上门服(fu)务

种微孔真空吸盘工作台(tai)的制作方法

【技术领域】

[0001]本实(shi)用新型涉及一种(zhong)微孔真空吸盘工作(zuo)台，属于机械设备(bei)领域。

【背景技术】

[0002]划(hua)(hua)片刀(dao)用于(yu)精密加工，由(you)于(yu)它(ta)的损耗速度非(fei)常快(kuai)，因此需求量非(fei)常大。生产划(hua)(hua)片刀(dao)需要使用晶圆(yuan)划(hua)(hua)片机，目前我国*有(you)(you)少数的几(ji)家工厂拥有(you)(you)这种设(she)备，在(zai)生产过程(cheng)中发现(xian)，现(xian)有(you)(you)技术的晶圆(yuan)划(hua)(hua)片机的工作台寿命较短(duan)，由(you)于(yu)其结构的不(bu)合(he)理通常I?6个月即会变(bian)形，在(zai)生产过程(cheng)中，随温度变(bian)化(hua)也会变(bian)形加快(kuai)。

【实用新型内容】

[0003]本实用(yong)新型的(de)目(mu)的(de)在于，提供一(yi)种(zhong)微孔(kong)真(zhen)空(kong)吸盘工作(zuo)台，它能够解决现有技术的(de)不足，提供一(yi)种(zhong)结(jie)构更合(he)理(li)，使用(yong)寿(shou)命更长的(de)工作(zuo)台。揭阳原装微孔(kong)陶瓷真(zhen)空(kong)吸盘上门服(fu)务广(guang)泛应(ying)用(yong)于半导(dao)体、磁性材料、电子行业(ye)。

2、工业高温窑炉

氧(yang)化(hua)铝陶瓷具有(you)优异的(de)(de)耐高(gao)温(wen)、热(re)(re)稳定性好、热(re)(re)导率低、热(re)(re)容小、耐机(ji)械振动等性能(neng)，导热(re)(re)系数(shu)和容重分别只有(you)传(chuan)统(tong)耐火材(cai)料的(de)(de)1/10和1/15，综合性能(neng)好，是理想的(de)(de)节能(neng)增效耐火材(cai)料，用于工(gong)作温(wen)度高(gao)于1400 ℃的(de)(de)钢铁工(gong)业各(ge)种热(re)(re)处理炉(lu)，陶瓷烧成窑(yao)，石油化(hua)工(gong)中的(de)(de)裂解炉(lu)、燃烧炉(lu)等的(de)(de)隔热(re)(re)炉(lu)衬材(cai)料。

氧化(hua)铝(lv)陶(tao)瓷(ci)应(ying)用于固(gu)体(ti)火箭发动机(ji)(ji)喷管，使喷管设计**简化(hua)，部件数量减少50%，质量减轻50%。也(ye)可应(ying)用于航(hang)天飞机(ji)(ji)的隔热(re)材料，美(mei)国“哥伦比亚”号航(hang)天飞机(ji)(ji)隔热(re)板衬垫用的是(shi)Saffil氧化(hua)铝(lv)陶(tao)瓷(ci)，能经受(shou)1600 ℃的高(gao)温。

4、陶瓷基复合材料

采用**度、高弹性(xing)的(de)氧(yang)化铝陶(tao)(tao)瓷(ci)与(yu)陶(tao)(tao)瓷(ci)基(ji)体复(fu)(fu)合技术，能(neng)制备韧性(xing)优良的(de)陶(tao)(tao)瓷(ci)基(ji)复(fu)(fu)合材(cai)料，可(ke)明显(xian)提高陶(tao)(tao)瓷(ci)产业(ye)的(de)技术水平，带动高技术陶(tao)(tao)瓷(ci)产业(ye)的(de)迅速发展。

吸音(yin)材(cai)(cai)(cai)料多(duo)孔(kong)(kong)陶(tao)瓷(ci)具(ju)有(you)连通开气(qi)孔(kong)(kong)，当声(sheng)波(bo)(bo)传入时，在(zai)很(hen)小的(de)(de)(de)(de)(de)气(qi)孔(kong)(kong)内受(shou)力振荡。振动受(shou)到(dao)(dao)的(de)(de)(de)(de)(de)摩擦和阻(zu)碍，使声(sheng)波(bo)(bo)传播受(shou)到(dao)(dao)，导致声(sheng)音(yin)衰(shuai)减(jian)，从而(er)起(qi)到(dao)(dao)吸音(yin)的(de)(de)(de)(de)(de)作用(yong)(yong)。是(shi)一(yi)种消除噪声(sheng)公害，益于(yu)人们身(shen)心(xin)健(jian)康的(de)(de)(de)(de)(de)好(hao)材(cai)(cai)(cai)料。作为吸音(yin)材(cai)(cai)(cai)料的(de)(de)(de)(de)(de)多(duo)孔(kong)(kong)陶(tao)瓷(ci)要(yao)求(qiu)较(jiao)(jiao)小的(de)(de)(de)(de)(de)孔(kong)(kong)径(20～150/um)，相当高的(de)(de)(de)(de)(de)气(qi)孔(kong)(kong)率(>60%)及较(jiao)(jiao)高的(de)(de)(de)(de)(de)机(ji)械强度。陶(tao)瓷(ci)所(suo)具(ju)有(you)的(de)(de)(de)(de)(de)优(you)良的(de)(de)(de)(de)(de)耐火(huo)性(xing)和耐候性(xing)，使它(ta)可(ke)用(yong)(yong)于(yu)变(bian)压器、道路、桥梁等的(de)(de)(de)(de)(de)隔音(yin)。现在(zai)已(yi)在(zai)高层(ceng)建筑、隧道、地铁(tie)等防火(huo)要(yao)求(qiu)极高的(de)(de)(de)(de)(de)场(chang)合及电(dian)视发(fa)射中(zhong)心(xin)、影(ying)剧(ju)院(yuan)等有(you)较(jiao)(jiao)高隔音(yin)要(yao)求(qiu)的(de)(de)(de)(de)(de)场(chang)合使用(yong)(yong)，效(xiao)(xiao)果很(hen)好(hao)。隐身(shen)材(cai)(cai)(cai)料多(duo)孔(kong)(kong)陶(tao)瓷(ci)吸波(bo)(bo)涂料是(shi)一(yi)种研制较(jiao)(jiao)多(duo)的(de)(de)(de)(de)(de)吸波(bo)(bo)材(cai)(cai)(cai)料，它(ta)比(bi)铁(tie)氧体、复合金属粉末(mo)等吸波(bo)(bo)涂料的(de)(de)(de)(de)(de)密度低、吸波(bo)(bo)性(xing)能好(hao)，而(er)且还(hai)可(ke)以有(you)效(xiao)(xiao)地减(jian)弱红(hong)外辐射信号。另外，多(duo)孔(kong)(kong)陶(tao)瓷(ci)具(ju)有(you)良好(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)力学性(xing)能、热(re)物理(li)性(xing)能和化学稳定性(xing)，能满足隐身(shen)的(de)(de)(de)(de)(de)要(yao)求(qiu)。的(de)(de)(de)(de)(de)F-117隐身(shen)飞(fei)(fei)机(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)尾喷管(guan)就使用(yong)(yong)了多(duo)孔(kong)(kong)陶(tao)瓷(ci)基吸波(bo)(bo)材(cai)(cai)(cai)料达到(dao)(dao)飞(fei)(fei)机(ji)隐身(shen)的(de)(de)(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)(de)(de)。研磨后的(de)(de)(de)(de)(de)表(biao)面光滑平整(zheng)，可(ke)替代国(guo)外进(jin)口材(cai)(cai)(cai)料.

高(gao)纯型氧化铝陶(tao)瓷系Al2O3含(han)量(liang)在99．9%以上的陶(tao)瓷材(cai)料(liao)(liao)，由于(yu)其烧结温度高(gao)达1650—1990℃，透射波长为(wei)1～6μm，在电子工(gong)业中可(ke)用作集成电路(lu)基板与(yu)高(gao)频绝缘材(cai)料(liao)(liao)。

 氧(yang)化(hua)锆(gao)陶(tao)瓷(ci)(ci)(ci)呈白(bai)色(se)(se)，含杂(za)质时呈黄色(se)(se)或灰色(se)(se)，一般含有HfO2，不易分离。在(zai)常压下纯(chun)ZrO2共有三种晶(jing)态。氧(yang)化(hua)锆(gao)陶(tao)瓷(ci)(ci)(ci)的(de)生产要求(qiu)制备高纯(chun)、分散(san)性能好、粒(li)子(zi)超(chao)细、粒(li)度分布窄(zhai)的(de)粉(fen)体，氧(yang)化(hua)锆(gao)超(chao)细粉(fen)末的(de)制备方法(fa)很多，氧(yang)化(hua)锆(gao)的(de)提(ti)纯(chun)主要有氯化(hua)和热分解(jie)法(fa)、碱金(jin)属氧(yang)化(hua)分解(jie)法(fa)、石(shi)灰熔(rong)融法(fa)、等离子(zi)弧法(fa)、沉淀(dian)法(fa)、胶体法(fa)、水解(jie)法(fa)、喷雾热解(jie)法(fa)等。电子(zi)行业**微(wei)(wei)孔陶(tao)瓷(ci)(ci)(ci)真空吸盘.揭阳原(yuan)装微(wei)(wei)孔陶(tao)瓷(ci)(ci)(ci)真空吸盘上门服务

在湿度大，有粘合液体(ti)的(de)环境(jing)下也可(ke)以工作。揭阳原装微孔陶瓷(ci)真空(kong)吸盘(pan)上(shang)门(men)服(fu)务

一、陶瓷的(de)(de)(de)(de)(de)增(zeng)韧(ren)(ren)(ren)方(fang)法(fa)目前，陶瓷的(de)(de)(de)(de)(de)增(zeng)韧(ren)(ren)(ren)方(fang)法(fa)主要有：相(xiang)(xiang)变(bian)增(zeng)韧(ren)(ren)(ren)、颗粒增(zeng)韧(ren)(ren)(ren)、纤维增(zeng)韧(ren)(ren)(ren)、自增(zeng)韧(ren)(ren)(ren)、弥散(san)韧(ren)(ren)(ren)化、协同增(zeng)韧(ren)(ren)(ren)、纳(na)米增(zeng)韧(ren)(ren)(ren)等。1、相(xiang)(xiang)变(bian)增(zeng)韧(ren)(ren)(ren)相(xiang)(xiang)变(bian)增(zeng)韧(ren)(ren)(ren)是(shi)指亚稳定(ding)四(si)方(fang)相(xiang)(xiang)t—ZrO2在裂纹(wen)(wen)前列应(ying)(ying)力场的(de)(de)(de)(de)(de)作(zuo)(zuo)用下(xia)发生一相(xiang)(xiang)变(bian)，形成(cheng)单斜相(xiang)(xiang)，产(chan)生体积(ji)膨胀，从而对裂纹(wen)(wen)形成(cheng)压应(ying)(ying)力，阻碍裂纹(wen)(wen)扩展，起到增(zeng)韧(ren)(ren)(ren)的(de)(de)(de)(de)(de)作(zuo)(zuo)用。此(ci)外，外界(jie)条件（如激光冲击、疲劳(lao)断裂韧(ren)(ren)(ren)性、低温、晶粒尺(chi)寸和含量、临界(jie)转变(bian)能量等）对氧化锆陶瓷相(xiang)(xiang)变(bian)增(zeng)韧(ren)(ren)(ren)有很大的(de)(de)(de)(de)(de)影(ying)响(xiang)，如果(guo)相(xiang)(xiang)变(bian)产(chan)生大的(de)(de)(de)(de)(de)应(ying)(ying)力和体积(ji)变(bian)化，则(ze)产(chan)品容易断裂，因(yin)此(ci)生产(chan)过程中，应(ying)(ying)避(bi)免外界(jie)因(yin)素(su)对氧化锆陶瓷相(xiang)(xiang)变(bian)增(zeng)韧(ren)(ren)(ren)的(de)(de)(de)(de)(de)影(ying)响(xiang)。揭阳原装微孔陶瓷真空吸盘上门服务

深圳市德澳美科(ke)技(ji)有(you)限公(gong)司汇集了大量的(de)(de)优秀人才，集企(qi)业奇思(si)，创经济奇迹，一(yi)(yi)(yi)群有(you)梦想(xiang)有(you)朝气的(de)(de)团(tuan)队不断在(zai)前(qian)进的(de)(de)道路上开(kai)创新(xin)天地(di)，绘画(hua)新(xin)蓝图，在(zai)广(guang)东省等地(di)区的(de)(de)机械及(ji)行(xing)业设备中始终保持良(liang)好的(de)(de)信(xin)(xin)誉，信(xin)(xin)奉着“争取每一(yi)(yi)(yi)个(ge)客(ke)户不容易，失(shi)去每一(yi)(yi)(yi)个(ge)用户很简(jian)单”的(de)(de)理(li)念，市场是企(qi)业的(de)(de)方向，质量是企(qi)业的(de)(de)生命，在(zai)公(gong)司有(you)效方针的(de)(de)领导(dao)下，全体上下，团(tuan)结一(yi)(yi)(yi)致，共同(tong)进退，**协力(li)把各方面工(gong)作做得更(geng)好，努力(li)开(kai)创工(gong)作的(de)(de)新(xin)局面，公(gong)司的(de)(de)新(xin)高度(du)，未来(lai)深圳市德澳美精密制造供应和您一(yi)(yi)(yi)起奔向更(geng)美好的(de)(de)未来(lai)，即使现(xian)在(zai)有(you)一(yi)(yi)(yi)点小(xiao)小(xiao)的(de)(de)成(cheng)绩，也不足以骄(jiao)傲(ao)，过去的(de)(de)种种都已(yi)成(cheng)为昨日我们(men)只有(you)总结经验，才能继续(xu)上路，让(rang)我们(men)一(yi)(yi)(yi)起点燃(ran)新(xin)的(de)(de)希望(wang)，放飞(fei)新(xin)的(de)(de)梦想(xiang)！

本文来自海润达物(wu)联科技有限责任公司(si)：//qfd1mz.cn/Article/05b13899856.html