微(wei)(wei)纳(na)(na)制造技术(shu)的(de)(de)发展推动(dong)着检测(ce)(ce)技术(shu)向微(wei)(wei)纳(na)(na)领(ling)域进军，微(wei)(wei)结构和(he)薄膜结构作(zuo)为微(wei)(wei)纳(na)(na)器件中的(de)(de)重要组成部分(fen)，在(zai)半导体、医学、航天(tian)航空、现代(dai)制造等(deng)领(ling)域得到(dao)了广泛(fan)的(de)(de)应(ying)用，由于其(qi)微(wei)(wei)小和(he)精(jing)(jing)细的(de)(de)特征，传统检测(ce)(ce)方(fang)法(fa)不能(neng)满足要求。白光(guang)(guang)干(gan)涉法(fa)具(ju)有非接触、无损伤、高精(jing)(jing)度(du)(du)(du)等(deng)特点(dian)，被(bei)广泛(fan)应(ying)用在(zai)微(wei)(wei)纳(na)(na)检测(ce)(ce)领(ling)域，另(ling)外光(guang)(guang)谱测(ce)(ce)量(liang)(liang)具(ju)有高效率(lv)、测(ce)(ce)量(liang)(liang)速度(du)(du)(du)快(kuai)的(de)(de)优点(dian)。因此(ci)，本文提出了白光(guang)(guang)干(gan)涉光(guang)(guang)谱测(ce)(ce)量(liang)(liang)方(fang)法(fa)并搭(da)建(jian)了测(ce)(ce)量(liang)(liang)系统。和(he)传统白光(guang)(guang)扫(sao)描(miao)干(gan)涉方(fang)法(fa)相比(bi)，其(qi)特点(dian)是(shi)具(ju)有较(jiao)强的(de)(de)环境噪声抵御能(neng)力，并且(qie)测(ce)(ce)量(liang)(liang)速度(du)(du)(du)较(jiao)快(kuai)。白光(guang)(guang)干(gan)涉膜厚测(ce)(ce)量(liang)(liang)技术(shu)可(ke)以通过对干(gan)涉曲(qu)线的(de)(de)分(fen)析实(shi)现对薄膜的(de)(de)光(guang)(guang)学参数和(he)厚度(du)(du)(du)分(fen)布的(de)(de)联合测(ce)(ce)量(liang)(liang)和(he)分(fen)析。徐州膜厚仪生产厂家(jia)哪家(jia)好

傅(fu)(fu)(fu)里(li)(li)(li)叶变(bian)(bian)(bian)换(huan)是白光(guang)(guang)(guang)频(pin)域解(jie)(jie)(jie)(jie)调(diao)(diao)方法中(zhong)一种低(di)精(jing)度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)信(xin)号解(jie)(jie)(jie)(jie)调(diao)(diao)方法。早是由G.F.Fernando和T.Liu等人提(ti)出，用于(yu)低(di)精(jing)度(du)(du)(du)光(guang)(guang)(guang)纤法布(bu)里(li)(li)(li)-珀罗传感器的(de)(de)(de)解(jie)(jie)(jie)(jie)调(diao)(diao)。因此，该解(jie)(jie)(jie)(jie)调(diao)(diao)方案的(de)(de)(de)原理是通(tong)过(guo)傅(fu)(fu)(fu)里(li)(li)(li)叶变(bian)(bian)(bian)换(huan)得(de)到(dao)(dao)频(pin)域的(de)(de)(de)峰(feng)值(zhi)频(pin)率从(cong)而(er)获得(de)光(guang)(guang)(guang)程差，进(jin)而(er)得(de)到(dao)(dao)待测物理量的(de)(de)(de)信(xin)息。傅(fu)(fu)(fu)里(li)(li)(li)叶变(bian)(bian)(bian)换(huan)解(jie)(jie)(jie)(jie)调(diao)(diao)方案的(de)(de)(de)优点是解(jie)(jie)(jie)(jie)调(diao)(diao)速(su)度(du)(du)(du)较快，受(shou)干扰信(xin)号的(de)(de)(de)影(ying)响(xiang)较小(xiao)。但是其测量精(jing)度(du)(du)(du)较低(di)。根据数字(zi)信(xin)号处理FFT（快速(su)傅(fu)(fu)(fu)里(li)(li)(li)叶变(bian)(bian)(bian)换(huan)）理论，若输入光(guang)(guang)(guang)源波长(zhang)范围为[]λ1,λ2，则所测光(guang)(guang)(guang)程差的(de)(de)(de)理论小(xiao)分辨率为λ1λ2/(λ2−λ1)，所以此方法主(zhu)要应用于(yu)对解(jie)(jie)(jie)(jie)调(diao)(diao)精(jing)度(du)(du)(du)要求不高的(de)(de)(de)场合。傅(fu)(fu)(fu)里(li)(li)(li)叶变(bian)(bian)(bian)换(huan)白光(guang)(guang)(guang)干涉(she)法是对傅(fu)(fu)(fu)里(li)(li)(li)叶变(bian)(bian)(bian)换(huan)法的(de)(de)(de)改进(jin)。该方法总结(jie)起来就是对采集(ji)到(dao)(dao)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)谱(pu)信(xin)号做(zuo)(zuo)傅(fu)(fu)(fu)里(li)(li)(li)叶变(bian)(bian)(bian)换(huan)，然后(hou)滤波、提(ti)取主(zhu)频(pin)信(xin)号后(hou)进(jin)行逆(ni)傅(fu)(fu)(fu)里(li)(li)(li)叶变(bian)(bian)(bian)换(huan)，然后(hou)做(zuo)(zuo)对数运算(suan)，并(bing)取其虚(xu)部做(zuo)(zuo)相(xiang)位(wei)反包裹运算(suan)，由获得(de)的(de)(de)(de)相(xiang)位(wei)得(de)到(dao)(dao)干涉(she)仪(yi)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)程差。该方法经过(guo)实(shi)验证明其测量精(jing)度(du)(du)(du)比傅(fu)(fu)(fu)里(li)(li)(li)叶变(bian)(bian)(bian)换(huan)高。漯河(he)膜(mo)厚(hou)(hou)仪(yi)厂家现(xian)货白光(guang)(guang)(guang)干涉(she)膜(mo)厚(hou)(hou)测量技术可以实(shi)现(xian)对薄膜(mo)表面形貌的(de)(de)(de)测量。

常(chang)用(yong)(yong)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)垂直扫描(miao)干涉(she)(she)(she)系统(tong)的(de)原理示意图(tu)，入射的(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)束通过(guo)半反(fan)半透(tou)镜(jing)(jing)进入到显微干涉(she)(she)(she)物镜(jing)(jing)后(hou)，被分(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)镜(jing)(jing)分(fen)成两部(bu)分(fen)，一个部(bu)分(fen)入射到固(gu)定的(de)参(can)考镜(jing)(jing)，一部(bu)分(fen)入射到样品表(biao)面(mian)(mian)，当参(can)考镜(jing)(jing)表(biao)面(mian)(mian)和(he)样品表(biao)面(mian)(mian)的(de)反(fan)射光(guang)(guang)(guang)(guang)通过(guo)分(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)镜(jing)(jing)后(hou)，再次(ci)汇聚发生干涉(she)(she)(she)，干涉(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)通过(guo)透(tou)镜(jing)(jing)后(hou)，利(li)用(yong)(yong)电荷耦(ou)合器(CCD)可探测(ce)整(zheng)个视场(chang)内双(shuang)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)束的(de)干涉(she)(she)(she)图(tu)像。利(li)用(yong)(yong)Z向(xiang)精密(mi)位(wei)移(yi)(yi)台带动(dong)干涉(she)(she)(she)镜(jing)(jing)头或样品台Z向(xiang)扫描(miao)，可获得一系列的(de)干涉(she)(she)(she)图(tu)像。根据干涉(she)(she)(she)图(tu)像序列中对(dui)(dui)应点(dian)的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)强随(sui)光(guang)(guang)(guang)(guang)程差(cha)变化曲线，可得该(gai)点(dian)的(de)Z向(xiang)相对(dui)(dui)位(wei)移(yi)(yi)；然后(hou)，由CCD图(tu)像中每个像素点(dian)光(guang)(guang)(guang)(guang)强最大值对(dui)(dui)应的(de)Z向(xiang)位(wei)置获得被测(ce)样品表(biao)面(mian)(mian)的(de)三维形貌。

薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)作(zuo)(zuo)为(wei)改善器件性(xing)(xing)能的(de)(de)(de)(de)重(zhong)要(yao)(yao)途(tu)径(jing)，被广泛应用(yong)(yong)于现(xian)代光(guang)学(xue)、电子(zi)、医(yi)疗(liao)、能源、建材等技(ji)术(shu)领域。受薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)制备工(gong)(gong)艺(yi)及(ji)(ji)生(sheng)(sheng)(sheng)产(chan)环(huan)境(jing)影响，成(cheng)品(pin)薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)存(cun)在(zai)(zai)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)分(fen)(fen)布不(bu)均、表(biao)面粗(cu)糙度(du)(du)(du)大等问题(ti)(ti)，导(dao)致(zhi)其光(guang)学(xue)及(ji)(ji)物理(li)性(xing)(xing)能达不(bu)到设计(ji)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)，严重(zhong)影响成(cheng)品(pin)的(de)(de)(de)(de)性(xing)(xing)能及(ji)(ji)应用(yong)(yong)。随着薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)生(sheng)(sheng)(sheng)产(chan)技(ji)术(shu)的(de)(de)(de)(de)迅速发展，准确测(ce)(ce)量(liang)(liang)和科(ke)学(xue)评价(jia)薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)特(te)性(xing)(xing)作(zuo)(zuo)为(wei)研究热点，也(ye)引起产(chan)业界的(de)(de)(de)(de)高度(du)(du)(du)重(zhong)视(shi)。厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)作(zuo)(zuo)为(wei)关(guan)键指标直(zhi)接影响薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)特(te)性(xing)(xing)，合理(li)监(jian)控薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)对于及(ji)(ji)时调整生(sheng)(sheng)(sheng)产(chan)工(gong)(gong)艺(yi)参数、降低(di)加工(gong)(gong)成(cheng)本(ben)(ben)、提(ti)高生(sheng)(sheng)(sheng)产(chan)效(xiao)率及(ji)(ji)企业竞争力等具(ju)(ju)有重(zhong)要(yao)(yao)作(zuo)(zuo)用(yong)(yong)和深远意义。然而(er)，对于市场份(fen)额(e)占比大的(de)(de)(de)(de)微米(mi)级工(gong)(gong)业薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)，除要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)测(ce)(ce)量(liang)(liang)系(xi)统(tong)(tong)不(bu)仅具(ju)(ju)有百纳米(mi)级的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)(liang)精度(du)(du)(du)之外，还要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)具(ju)(ju)备体(ti)(ti)积小(xiao)、稳定性(xing)(xing)好(hao)的(de)(de)(de)(de)特(te)点，以(yi)(yi)适应工(gong)(gong)业现(xian)场环(huan)境(jing)的(de)(de)(de)(de)在(zai)(zai)线检测(ce)(ce)需求(qiu)(qiu)。目前光(guang)学(xue)薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)测(ce)(ce)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)方法(fa)(fa)仍无(wu)法(fa)(fa)兼顾高精度(du)(du)(du)、轻小(xiao)体(ti)(ti)积，以(yi)(yi)及(ji)(ji)合理(li)的(de)(de)(de)(de)系(xi)统(tong)(tong)成(cheng)本(ben)(ben)，而(er)具(ju)(ju)备纳米(mi)级测(ce)(ce)量(liang)(liang)分(fen)(fen)辨力的(de)(de)(de)(de)商用(yong)(yong)薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)测(ce)(ce)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)仪(yi)器往(wang)往(wang)价(jia)格(ge)昂贵(gui)、体(ti)(ti)积较大，且无(wu)法(fa)(fa)响应工(gong)(gong)业生(sheng)(sheng)(sheng)产(chan)现(xian)场的(de)(de)(de)(de)在(zai)(zai)线测(ce)(ce)量(liang)(liang)需求(qiu)(qiu)。基于以(yi)(yi)上分(fen)(fen)析，本(ben)(ben)课题(ti)(ti)提(ti)出(chu)(chu)基于反(fan)射(she)光(guang)谱原理(li)的(de)(de)(de)(de)高精度(du)(du)(du)工(gong)(gong)业薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)测(ce)(ce)量(liang)(liang)解(jie)决方案(an)，研制小(xiao)型化、低(di)成(cheng)本(ben)(ben)的(de)(de)(de)(de)薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)测(ce)(ce)量(liang)(liang)系(xi)统(tong)(tong)，并提(ti)出(chu)(chu)无(wu)需标定样(yang)品(pin)的(de)(de)(de)(de)高效(xiao)稳定的(de)(de)(de)(de)膜(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)计(ji)算算法(fa)(fa)。研发的(de)(de)(de)(de)系(xi)统(tong)(tong)可以(yi)(yi)实现(xian)微米(mi)级工(gong)(gong)业薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)测(ce)(ce)量(liang)(liang)。白(bai)光(guang)干涉膜(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)测(ce)(ce)量(liang)(liang)技(ji)术(shu)可以(yi)(yi)应用(yong)(yong)于光(guang)学(xue)涂层中的(de)(de)(de)(de)薄(bo)(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)反(fan)射(she)率测(ce)(ce)量(liang)(liang)。

自1986年E.Wolf证明了相关诱(you)导光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)的(de)(de)变(bian)化(hua)(hua)以(yi)来，人们在(zai)理(li)论(lun)和(he)实(shi)验(yan)上(shang)展(zhan)开了讨论(lun)和(he)研(yan)究。结(jie)果表明，动态的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)位(wei)移可以(yi)产生(sheng)新的(de)(de)滤波器，应用于光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)学信号处理(li)和(he)加密领域。在(zai)论(lun)文中(zhong)，我们提(ti)出的(de)(de)基于白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)单(dan)峰值波长(zhang)(zhang)(zhang)移动的(de)(de)解调方案，可以(yi)用于当光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程差非常(chang)小导致(zhi)其干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)只有一(yi)个干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)峰时的(de)(de)信号解调，实(shi)现纳米薄膜(mo)(mo)厚度(du)(du)测量(liang)。在(zai)频(pin)域干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)中(zhong)，当干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程差超过(guo)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源相干(gan)(gan)(gan)(gan)长(zhang)(zhang)(zhang)度(du)(du)的(de)(de)时候，仍然可以(yi)观察(cha)到干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)条纹。出现这种现象的(de)(de)原因是(shi)白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)可以(yi)看成是(shi)许多单(dan)色光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)叠加，每(mei)一(yi)列(lie)单(dan)色光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)相干(gan)(gan)(gan)(gan)长(zhang)(zhang)(zhang)度(du)(du)都是(shi)无限的(de)(de)。当我们使用光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)仪来接收干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)时，由于光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)仪光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)栅的(de)(de)分(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)作(zuo)用，将(jiang)宽(kuan)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)的(de)(de)白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)变(bian)成了窄带光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)(pu)，从而使相干(gan)(gan)(gan)(gan)长(zhang)(zhang)(zhang)度(du)(du)发(fa)(fa)生(sheng)变(bian)化(hua)(hua)。白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)膜(mo)(mo)厚测量(liang)技术的(de)(de)发(fa)(fa)展(zhan)将(jiang)促进相关产业的(de)(de)发(fa)(fa)展(zhan)和(he)科(ke)学技术的(de)(de)进步。漯河(he)膜(mo)(mo)厚仪厂家现货

白光干涉膜(mo)厚测(ce)量(liang)技术可以应用于光学通信中的(de)薄(bo)膜(mo)透过率(lv)测(ce)量(liang)。徐州(zhou)膜(mo)厚仪生产厂家哪家好

为(wei)了分析白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)的(de)(de)(de)测(ce)(ce)(ce)量(liang)范围，开展(zhan)了不同(tong)壁厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)的(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸壳层(ceng)(ceng)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)测(ce)(ce)(ce)量(liang)实(shi)验。图(tu)是不同(tong)壳层(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)靶(ba)(ba)丸的(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)测(ce)(ce)(ce)量(liang)曲线，如(ru)图(tu)所示，对于(yu)(yu)壳层(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)30μm的(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸，其(qi)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)各谱(pu)(pu)峰非常密(mi)集(ji)、干(gan)涉(she)级次(ci)数值(zhi)大；此外，由于(yu)(yu)靶(ba)(ba)丸壳层(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)吸收，壁厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)较大的(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸信(xin)号(hao)(hao)强(qiang)度(du)(du)(du)(du)相对较弱。随(sui)着靶(ba)(ba)丸壳层(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)进一(yi)步(bu)增加(jia)，其(qi)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)各谱(pu)(pu)峰将更(geng)加(jia)密(mi)集(ji)，难以(yi)(yi)实(shi)现对各干(gan)涉(she)谱(pu)(pu)峰波长的(de)(de)(de)测(ce)(ce)(ce)量(liang)。为(wei)实(shi)现较大厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)靶(ba)(ba)丸壳层(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)测(ce)(ce)(ce)量(liang)，需(xu)采用(yong)红外的(de)(de)(de)宽(kuan)谱(pu)(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源和光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)探(tan)测(ce)(ce)(ce)器。对于(yu)(yu)壳层(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)为(wei)μm的(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸，测(ce)(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)(de)波峰相对较少，容易实(shi)现靶(ba)(ba)丸壳层(ceng)(ceng)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)谱(pu)(pu)峰波长的(de)(de)(de)准确测(ce)(ce)(ce)量(liang)；随(sui)着靶(ba)(ba)丸壳层(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)进一(yi)步(bu)减小，两干(gan)涉(she)信(xin)号(hao)(hao)之间的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程差(cha)差(cha)异(yi)非常小，以(yi)(yi)至于(yu)(yu)他们的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)信(xin)号(hao)(hao)中只(zhi)有(you)一(yi)个(ge)干(gan)涉(she)波峰，基于(yu)(yu)峰值(zhi)探(tan)测(ce)(ce)(ce)的(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)方法难以(yi)(yi)实(shi)现其(qi)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)测(ce)(ce)(ce)量(liang)；为(wei)实(shi)现较小厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)靶(ba)(ba)丸壳层(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)测(ce)(ce)(ce)量(liang)，可采用(yong)紫(zi)外的(de)(de)(de)宽(kuan)谱(pu)(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源和光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)探(tan)测(ce)(ce)(ce)器提升其(qi)探(tan)测(ce)(ce)(ce)厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)下(xia)限。徐州膜厚(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)(hou)仪(yi)生(sheng)产厂家哪家好

本文来自(zi)海润达物联科技有限责(ze)任(ren)公司：//qfd1mz.cn/Article/4b12999866.html