白光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)分(fen)(fen)析是(shi)目前白光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉测(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)一(yi)个重要方向，此(ci)(ci)项技术(shu)(shu)主要是(shi)利用光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)仪将(jiang)对条(tiao)纹的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)转变成(cheng)为(wei)对不(bu)同波长光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)。通过分(fen)(fen)析被测(ce)(ce)物(wu)体(ti)的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)特性，就(jiu)能够得到相应的(de)(de)(de)(de)长度信(xin)(xin)息和形貌信(xin)(xin)息。相比(bi)于白光(guang)(guang)(guang)(guang)扫描干(gan)(gan)(gan)涉术(shu)(shu)，它不(bu)需要大量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)扫描过程，因此(ci)(ci)提高了(le)测(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)效率(lv)，而且也(ye)减小(xiao)了(le)环境对它的(de)(de)(de)(de)影响(xiang)。此(ci)(ci)项技术(shu)(shu)能够测(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)距(ju)离、位移、块状材料的(de)(de)(de)(de)群折射(she)率(lv)以及多层(ceng)薄(bo)膜(mo)(mo)厚度。白干(gan)(gan)(gan)干(gan)(gan)(gan)涉光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)法是(shi)基(ji)于频域干(gan)(gan)(gan)涉的(de)(de)(de)(de)理(li)论，采用白光(guang)(guang)(guang)(guang)作为(wei)宽(kuan)波段(duan)光(guang)(guang)(guang)(guang)源，经过分(fen)(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)棱镜(jing)，被分(fen)(fen)成(cheng)两束光(guang)(guang)(guang)(guang)，这(zhei)(zhei)两束光(guang)(guang)(guang)(guang)分(fen)(fen)别入(ru)射(she)到参(can)考面和被测(ce)(ce)物(wu)体(ti)，反射(she)回来后(hou)经过分(fen)(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)棱镜(jing)合(he)成(cheng)后(hou)，由色散元件分(fen)(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)至探测(ce)(ce)器，记(ji)录频域上(shang)的(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)涉信(xin)(xin)号(hao)。此(ci)(ci)光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)信(xin)(xin)号(hao)包(bao)(bao)含了(le)被测(ce)(ce)表面的(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)息，如果此(ci)(ci)时被测(ce)(ce)物(wu)体(ti)是(shi)薄(bo)膜(mo)(mo)，则薄(bo)膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)厚度也(ye)包(bao)(bao)含在这(zhei)(zhei)光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)信(xin)(xin)号(hao)当中。这(zhei)(zhei)样就(jiu)把白光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉的(de)(de)(de)(de)精度和光(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)测(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)速度结合(he)起来，形成(cheng)了(le)一(yi)种精度高而且速度快(kuai)的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)方法。白光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉膜(mo)(mo)厚测(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)技术(shu)(shu)可以在不(bu)同环境下进(jin)行测(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)。淄博新型膜(mo)(mo)厚仪

白(bai)光(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)的(de)(de)分(fen)析方(fang)法(fa)(fa)利用白(bai)光(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)感(gan)知(zhi)空间(jian)位(wei)(wei)(wei)置的(de)(de)变化(hua)，从而得(de)到(dao)被(bei)测(ce)(ce)物体(ti)的(de)(de)信息。它是在单(dan)(dan)色(se)光(guang)(guang)(guang)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)移(yi)干(gan)(gan)涉(she)(she)术(shu)的(de)(de)基础上发(fa)展而来的(de)(de)。单(dan)(dan)色(se)光(guang)(guang)(guang)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)移(yi)干(gan)(gan)涉(she)(she)术(shu)利用光(guang)(guang)(guang)路使参考光(guang)(guang)(guang)和被(bei)测(ce)(ce)表(biao)(biao)面的(de)(de)反射光(guang)(guang)(guang)发(fa)生(sheng)干(gan)(gan)涉(she)(she)，再(zai)使用相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)移(yi)的(de)(de)方(fang)法(fa)(fa)调制(zhi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)，利用干(gan)(gan)涉(she)(she)场中(zhong)光(guang)(guang)(guang)强的(de)(de)变化(hua)计(ji)算出其(qi)每(mei)个数(shu)据点的(de)(de)初始相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)，但是这样(yang)得(de)到(dao)的(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)是位(wei)(wei)(wei)于(yu)（-π，+π]间(jian)，所以得(de)到(dao)的(de)(de)是不(bu)连(lian)续的(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)。因此，需要(yao)进行(xing)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)展开使其(qi)变为连(lian)续相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)。再(zai)利用高(gao)度(du)与相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)的(de)(de)信息求(qiu)出被(bei)测(ce)(ce)物体(ti)的(de)(de)表(biao)(biao)面形(xing)貌。单(dan)(dan)色(se)光(guang)(guang)(guang)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)移(yi)法(fa)(fa)具(ju)有测(ce)(ce)量速度(du)快(kuai)、测(ce)(ce)量分(fen)辨(bian)力高(gao)、对(dui)背景光(guang)(guang)(guang)强不(bu)敏(min)感(gan)等优(you)点。但是，由于(yu)单(dan)(dan)色(se)光(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)无(wu)法(fa)(fa)确定干(gan)(gan)涉(she)(she)条纹的(de)(de)零级位(wei)(wei)(wei)置。因此，在相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)解包(bao)裹中(zhong)无(wu)法(fa)(fa)得(de)到(dao)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)差(cha)的(de)(de)周(zhou)期数(shu)，所以只能(neng)假(jia)定相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)差(cha)不(bu)超(chao)过(guo)一个周(zhou)期，相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)当于(yu)测(ce)(ce)试(shi)表(biao)(biao)面的(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)邻高(gao)度(du)不(bu)能(neng)超(chao)过(guo)四分(fen)之一波长[27]。这就限制(zhi)了(le)其(qi)测(ce)(ce)量的(de)(de)范围，使它只能(neng)测(ce)(ce)试(shi)连(lian)续结构或者(zhe)光(guang)(guang)(guang)滑表(biao)(biao)面结构。郑州(zhou)膜厚仪制(zhi)作厂家白(bai)光(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)膜厚测(ce)(ce)量技(ji)术(shu)可以实现对(dui)薄膜厚度(du)的(de)(de)在线检测(ce)(ce)和自动控制(zhi)。

在(zai)纳米量(liang)(liang)级薄(bo)膜(mo)(mo)的(de)(de)各项相关参数中(zhong)，薄(bo)膜(mo)(mo)材(cai)料的(de)(de)厚(hou)度(du)(du)是薄(bo)膜(mo)(mo)设计和制(zhi)备过(guo)程中(zhong)的(de)(de)重要(yao)参数，是决定薄(bo)膜(mo)(mo)性(xing)(xing)质(zhi)和性(xing)(xing)能的(de)(de)基(ji)本(ben)参量(liang)(liang)之一(yi)，它对于(yu)(yu)薄(bo)膜(mo)(mo)的(de)(de)光(guang)(guang)学、力学和电(dian)磁性(xing)(xing)能等(deng)都有(you)(you)重要(yao)的(de)(de)影响(xiang)[3]。但是由于(yu)(yu)纳米量(liang)(liang)级薄(bo)膜(mo)(mo)的(de)(de)极小(xiao)尺寸(cun)及其(qi)(qi)突出的(de)(de)表(biao)面效应，使得对其(qi)(qi)厚(hou)度(du)(du)的(de)(de)准确测(ce)(ce)量(liang)(liang)变得困难。经过(guo)众(zhong)多科研技(ji)术(shu)人员(yuan)的(de)(de)探索和研究，新(xin)的(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)度(du)(du)测(ce)(ce)量(liang)(liang)理论和测(ce)(ce)量(liang)(liang)技(ji)术(shu)不(bu)(bu)断(duan)涌现，测(ce)(ce)量(liang)(liang)方(fang)(fang)法(fa)(fa)实现了(le)从(cong)手动到自动，有(you)(you)损(sun)到无损(sun)测(ce)(ce)量(liang)(liang)。由于(yu)(yu)待测(ce)(ce)薄(bo)膜(mo)(mo)材(cai)料的(de)(de)性(xing)(xing)质(zhi)不(bu)(bu)同，其(qi)(qi)适用(yong)(yong)的(de)(de)厚(hou)度(du)(du)测(ce)(ce)量(liang)(liang)方(fang)(fang)案也不(bu)(bu)尽相同。对于(yu)(yu)厚(hou)度(du)(du)在(zai)纳米量(liang)(liang)级的(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)，利用(yong)(yong)光(guang)(guang)学原理的(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)(liang)技(ji)术(shu)应用(yong)(yong)。相比于(yu)(yu)其(qi)(qi)他方(fang)(fang)法(fa)(fa)，光(guang)(guang)学测(ce)(ce)量(liang)(liang)方(fang)(fang)法(fa)(fa)因为(wei)具(ju)(ju)有(you)(you)精(jing)度(du)(du)高，速(su)度(du)(du)快(kuai)，无损(sun)测(ce)(ce)量(liang)(liang)等(deng)优势而成为(wei)主要(yao)的(de)(de)检测(ce)(ce)手段。其(qi)(qi)中(zhong)具(ju)(ju)有(you)(you)代(dai)表(biao)性(xing)(xing)的(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)(liang)方(fang)(fang)法(fa)(fa)有(you)(you)椭圆偏振(zhen)法(fa)(fa)，干涉法(fa)(fa)，光(guang)(guang)谱法(fa)(fa)，棱镜耦合法(fa)(fa)等(deng)。

本章(zhang)主要介绍了(le)基于(yu)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)反(fan)射光(guang)(guang)(guang)谱(pu)和白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)垂直(zhi)扫描干(gan)涉(she)联用(yong)(yong)(yong)的靶丸(wan)壳(qiao)(qiao)层(ceng)折射率测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方法(fa)。该(gai)方法(fa)利用(yong)(yong)(yong)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)反(fan)射光(guang)(guang)(guang)谱(pu)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)靶丸(wan)壳(qiao)(qiao)层(ceng)光(guang)(guang)(guang)学(xue)厚度(du)，利用(yong)(yong)(yong)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)垂直(zhi)扫描干(gan)涉(she)技术测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)光(guang)(guang)(guang)线通过(guo)靶丸(wan)壳(qiao)(qiao)层(ceng)后的光(guang)(guang)(guang)程增(zeng)量(liang)(liang)，二者联立即可求得靶丸(wan)折射率和厚度(du)数据。在实验数据处理方面，为解决(jue)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)光(guang)(guang)(guang)谱(pu)中波峰位置难以(yi)精确(que)确(que)定和单极值点(dian)判读可能存(cun)在干(gan)涉(she)级次(ci)误差的问题，提(ti)出MATLAB曲线拟(ni)合(he)测(ce)(ce)(ce)定极值点(dian)波长以(yi)及(ji)利用(yong)(yong)(yong)干(gan)涉(she)级次(ci)连续性(xing)进行干(gan)涉(she)级次(ci)判定的数据处理方法(fa)。应用(yong)(yong)(yong)碳氢(qing)(CH)薄膜(mo)(mo)对测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)结果(guo)的可靠(kao)性(xing)进行了(le)实验验证。白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)膜(mo)(mo)厚测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)技术可以(yi)应用(yong)(yong)(yong)于(yu)光(guang)(guang)(guang)学(xue)薄膜(mo)(mo)设计(ji)中的薄膜(mo)(mo)参(can)数测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)。

干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)法[9-10]是(shi)(shi)基于(yu)光(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)原(yuan)理(li)实(shi)现(xian)对(dui)薄(bo)(bo)膜(mo)厚度(du)(du)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)学方(fang)法，是(shi)(shi)一(yi)种(zhong)高精(jing)度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)技术。采用(yong)(yong)光(guang)(guang)(guang)学干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)原(yuan)理(li)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)系统一(yi)般具(ju)有结构简单，成本低(di)廉，稳定性好，抗干(gan)(gan)(gan)(gan)扰能(neng)力强，使(shi)用(yong)(yong)范围广等优点(dian)。对(dui)于(yu)大(da)多数的(de)(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)任务，都是(shi)(shi)通过薄(bo)(bo)膜(mo)表面(mian)和基底(di)表面(mian)之(zhi)间产生的(de)(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)条纹的(de)(de)(de)(de)(de)(de)形状和分布规(gui)律，来研究干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)装置中(zhong)待测(ce)(ce)(ce)(ce)物理(li)量(liang)(liang)(liang)(liang)引入的(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)程差或(huo)者是(shi)(shi)位(wei)相差的(de)(de)(de)(de)(de)(de)变化(hua)，从而(er)(er)达到测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)目的(de)(de)(de)(de)(de)(de)。光(guang)(guang)(guang)学干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)法的(de)(de)(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)精(jing)度(du)(du)可(ke)达到甚(shen)至(zhi)优于(yu)纳(na)米(mi)量(liang)(liang)(liang)(liang)级(ji)，而(er)(er)利用(yong)(yong)外差干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)进行测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)，其精(jing)度(du)(du)甚(shen)至(zhi)可(ke)以达到10-3nm量(liang)(liang)(liang)(liang)级(ji)[11]。根据所使(shi)用(yong)(yong)光(guang)(guang)(guang)源的(de)(de)(de)(de)(de)(de)不同，干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)法又可(ke)以分为激光(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)和白光(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)两大(da)类。激光(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)分辨率更高，但是(shi)(shi)不能(neng)实(shi)现(xian)对(dui)静(jing)态信(xin)(xin)号(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)，只能(neng)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)输(shu)出(chu)信(xin)(xin)号(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)变化(hua)量(liang)(liang)(liang)(liang)或(huo)者是(shi)(shi)连续信(xin)(xin)号(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)变化(hua)，即只能(neng)实(shi)现(xian)相对(dui)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)。而(er)(er)白光(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)是(shi)(shi)通过对(dui)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)信(xin)(xin)号(hao)中(zhong)心(xin)条纹的(de)(de)(de)(de)(de)(de)有效识别(bie)来实(shi)现(xian)对(dui)物理(li)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)，是(shi)(shi)一(yi)种(zhong)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)式，在薄(bo)(bo)膜(mo)厚度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)中(zhong)得到了(le)广泛的(de)(de)(de)(de)(de)(de)应(ying)用(yong)(yong)。白光(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)膜(mo)厚测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)技术可(ke)以应(ying)用(yong)(yong)于(yu)光(guang)(guang)(guang)学涂层中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)薄(bo)(bo)膜(mo)反射率测(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)。济南膜(mo)厚仪信(xin)(xin)赖推荐

白(bai)光干涉膜(mo)厚(hou)测量(liang)(liang)技术可以实现对复杂薄(bo)膜(mo)结构的测量(liang)(liang)。淄博新型膜(mo)厚(hou)仪

为(wei)了分析白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)量范围(wei)，开展(zhan)了不(bu)同(tong)壁(bi)厚(hou)(hou)的(de)(de)(de)(de)靶(ba)丸(wan)壳(qiao)层(ceng)(ceng)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)测(ce)(ce)量实验。图(tu)是不(bu)同(tong)壳(qiao)层(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)度(du)(du)(du)靶(ba)丸(wan)的(de)(de)(de)(de)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)测(ce)(ce)量曲线，如图(tu)所示(shi)，对(dui)于(yu)壳(qiao)层(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)度(du)(du)(du)30μm的(de)(de)(de)(de)靶(ba)丸(wan)，其白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)各谱(pu)(pu)(pu)峰(feng)(feng)非常(chang)(chang)密(mi)集(ji)、干(gan)涉级次数值大；此(ci)外(wai)(wai)，由于(yu)靶(ba)丸(wan)壳(qiao)层(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)(de)吸收(shou)，壁(bi)厚(hou)(hou)较(jiao)大的(de)(de)(de)(de)靶(ba)丸(wan)信号(hao)强度(du)(du)(du)相(xiang)对(dui)较(jiao)弱。随着靶(ba)丸(wan)壳(qiao)层(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)进(jin)一步增(zeng)加，其白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)各谱(pu)(pu)(pu)峰(feng)(feng)将更加密(mi)集(ji)，难(nan)以实现对(dui)各干(gan)涉谱(pu)(pu)(pu)峰(feng)(feng)波(bo)(bo)长的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)量。为(wei)实现较(jiao)大厚(hou)(hou)度(du)(du)(du)靶(ba)丸(wan)壳(qiao)层(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)测(ce)(ce)量，需采(cai)用红外(wai)(wai)的(de)(de)(de)(de)宽谱(pu)(pu)(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源和光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)探测(ce)(ce)器。对(dui)于(yu)壳(qiao)层(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)度(du)(du)(du)为(wei)μm的(de)(de)(de)(de)靶(ba)丸(wan)，测(ce)(ce)量的(de)(de)(de)(de)波(bo)(bo)峰(feng)(feng)相(xiang)对(dui)较(jiao)少，容(rong)易实现靶(ba)丸(wan)壳(qiao)层(ceng)(ceng)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)谱(pu)(pu)(pu)峰(feng)(feng)波(bo)(bo)长的(de)(de)(de)(de)准确(que)测(ce)(ce)量；随着靶(ba)丸(wan)壳(qiao)层(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)进(jin)一步减小，两干(gan)涉信号(hao)之间的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程差差异非常(chang)(chang)小，以至于(yu)他(ta)们的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)信号(hao)中只有一个干(gan)涉波(bo)(bo)峰(feng)(feng)，基于(yu)峰(feng)(feng)值探测(ce)(ce)的(de)(de)(de)(de)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)方法(fa)难(nan)以实现其厚(hou)(hou)度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)量；为(wei)实现较(jiao)小厚(hou)(hou)度(du)(du)(du)靶(ba)丸(wan)壳(qiao)层(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)测(ce)(ce)量，可采(cai)用紫外(wai)(wai)的(de)(de)(de)(de)宽谱(pu)(pu)(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源和光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)(pu)探测(ce)(ce)器提升其探测(ce)(ce)厚(hou)(hou)度(du)(du)(du)下限。淄博新型膜厚(hou)(hou)仪

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