与(yu)激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)源相(xiang)比以白光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)宽(kuan)光(guang)(guang)(guang)(guang)谱光(guang)(guang)(guang)(guang)源由于(yu)具(ju)有短相(xiang)干(gan)(gan)(gan)长度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)特(te)点使得(de)两光(guang)(guang)(guang)(guang)束(shu)只(zhi)有在光(guang)(guang)(guang)(guang)程(cheng)差(cha)极小(xiao)的(de)(de)(de)(de)情况下才能(neng)发生(sheng)(sheng)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)因此不(bu)会(hui)产(chan)生(sheng)(sheng)干(gan)(gan)(gan)扰条纹。同时由于(yu)白光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)产(chan)生(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)条纹具(ju)有明显的(de)(de)(de)(de)零(ling)光(guang)(guang)(guang)(guang)程(cheng)差(cha)位(wei)置避免了(le)(le)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)级次不(bu)确(que)定(ding)的(de)(de)(de)(de)问题。本文以白光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)原(yuan)理(li)为(wei)理(li)论(lun)基础(chu)对单层透明薄膜(mo)厚(hou)(hou)度(du)(du)测(ce)量(liang)尤其(qi)对厚(hou)(hou)度(du)(du)小(xiao)于(yu)光(guang)(guang)(guang)(guang)源相(xiang)干(gan)(gan)(gan)长度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)薄膜(mo)厚(hou)(hou)度(du)(du)测(ce)量(liang)进行了(le)(le)研究。首先从白光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)测(ce)量(liang)薄膜(mo)厚(hou)(hou)度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)原(yuan)理(li)出发、分别(bie)详细阐(chan)述了(le)(le)白光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)原(yuan)理(li)和薄膜(mo)测(ce)厚(hou)(hou)原(yuan)理(li)。接着在金相(xiang)显微镜的(de)(de)(de)(de)基础(chu)上构建了(le)(le)型垂(chui)直白光(guang)(guang)(guang)(guang)扫(sao)描系统作为(wei)实验中测(ce)试薄膜(mo)厚(hou)(hou)度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)仪器并利用白光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)原(yuan)理(li)对的(de)(de)(de)(de)位(wei)移量(liang)进行了(le)(le)标定(ding)。白光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)膜(mo)厚(hou)(hou)测(ce)量(liang)技术可以通过对干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)曲线的(de)(de)(de)(de)分析实现对薄膜(mo)的(de)(de)(de)(de)厚(hou)(hou)度(du)(du)分布的(de)(de)(de)(de)测(ce)量(liang)和分析。山东膜(mo)厚(hou)(hou)仪成本价

靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)壳层(ceng)(ceng)折(zhe)射(she)率(lv)、厚(hou)(hou)度及其分(fen)布(bu)参数是激(ji)光惯性约束聚(ju)变（ICF）物理实(shi)验中非常关键(jian)的(de)(de)参数，精(jing)(jing)密(mi)(mi)测量(liang)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)壳层(ceng)(ceng)折(zhe)射(she)率(lv)、厚(hou)(hou)度及其分(fen)布(bu)对ICF精(jing)(jing)密(mi)(mi)物理实(shi)验研(yan)究具有(you)非常重(zhong)要的(de)(de)意义。由于靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)尺(chi)寸微小（亚毫(hao)米量(liang)级）、结构(gou)特殊（球形结构(gou)）、测量(liang)精(jing)(jing)度要求高，如何实(shi)现靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)壳层(ceng)(ceng)折(zhe)射(she)率(lv)及其厚(hou)(hou)度分(fen)布(bu)的(de)(de)精(jing)(jing)密(mi)(mi)测量(liang)是靶(ba)(ba)参数测量(liang)技(ji)术(shu)研(yan)究中重(zhong)要的(de)(de)研(yan)究内容。本论(lun)文(wen)针对靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)壳层(ceng)(ceng)折(zhe)射(she)率(lv)及厚(hou)(hou)度分(fen)布(bu)的(de)(de)精(jing)(jing)密(mi)(mi)测量(liang)需求，开展了基于白光干(gan)(gan)涉技(ji)术(shu)的(de)(de)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)壳层(ceng)(ceng)折(zhe)射(she)率(lv)及厚(hou)(hou)度分(fen)布(bu)测量(liang)技(ji)术(shu)研(yan)究。大连膜厚(hou)(hou)仪生产厂家(jia)哪家(jia)好白光干(gan)(gan)涉膜厚(hou)(hou)测量(liang)技(ji)术(shu)可(ke)以实(shi)现对薄膜的(de)(de)在线检测和控制。

干(gan)涉(she)(she)法(fa)与分(fen)光(guang)光(guang)度(du)(du)(du)法(fa)都是利用相(xiang)(xiang)干(gan)光(guang)形(xing)成等厚干(gan)涉(she)(she)条纹的(de)(de)原理来确定薄(bo)(bo)膜(mo)厚度(du)(du)(du)和(he)折射(she)(she)率，然而(er)与薄(bo)(bo)膜(mo)自(zi)发(fa)产生的(de)(de)等倾干(gan)涉(she)(she)不同，干(gan)涉(she)(she)法(fa)是通过设置(zhi)参(can)考光(guang)路，形(xing)成与测(ce)(ce)(ce)量(liang)光(guang)路间(jian)的(de)(de)干(gan)涉(she)(she)条纹，因(yin)此(ci)其(qi)相(xiang)(xiang)位信(xin)(xin)息(xi)包(bao)含两个部分(fen)，分(fen)别是由(you)参(can)考平(ping)面和(he)测(ce)(ce)(ce)量(liang)平(ping)面间(jian)扫(sao)描高度(du)(du)(du)引起的(de)(de)附加相(xiang)(xiang)位和(he)由(you)透明(ming)薄(bo)(bo)膜(mo)内(nei)部多次反射(she)(she)引起的(de)(de)膜(mo)厚相(xiang)(xiang)位。干(gan)涉(she)(she)法(fa)测(ce)(ce)(ce)量(liang)光(guang)路使用面阵CCD接收参(can)考平(ping)面和(he)测(ce)(ce)(ce)量(liang)平(ping)面间(jian)相(xiang)(xiang)干(gan)波面的(de)(de)干(gan)涉(she)(she)光(guang)强分(fen)布，不同于以上三种点测(ce)(ce)(ce)量(liang)方式，可(ke)一次性(xing)生成薄(bo)(bo)膜(mo)待(dai)测(ce)(ce)(ce)区域(yu)的(de)(de)表面形(xing)貌信(xin)(xin)息(xi)，但同时由(you)于存在(zai)大量(liang)轴向(xiang)扫(sao)描和(he)数据解(jie)算，完(wan)成单次测(ce)(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)时间(jian)相(xiang)(xiang)对较长(zhang)。

白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)频域(yu)(yu)解(jie)调(diao)顾(gu)名(ming)思义是在(zai)频域(yu)(yu)分(fen)(fen)析解(jie)调(diao)信(xin)(xin)号，测量(liang)装置(zhi)与时(shi)域(yu)(yu)解(jie)调(diao)装置(zhi)几乎相(xiang)同，只需把光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)强测量(liang)装置(zhi)换(huan)为光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)仪或者是CCD，接(jie)收(shou)到(dao)的(de)信(xin)(xin)号是光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)强随着(zhe)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)波(bo)长(zhang)(zhang)的(de)分(fen)(fen)布。由(you)于(yu)时(shi)域(yu)(yu)解(jie)调(diao)中(zhong)接(jie)收(shou)到(dao)的(de)信(xin)(xin)号是一(yi)定范围内所有(you)波(bo)长(zhang)(zhang)的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)强叠加，因此将(jiang)频谱(pu)(pu)信(xin)(xin)号中(zhong)各(ge)个(ge)波(bo)长(zhang)(zhang)的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)强叠加，即可得到(dao)与它对(dui)应(ying)的(de)时(shi)域(yu)(yu)接(jie)收(shou)信(xin)(xin)号。由(you)此可见(jian)，频域(yu)(yu)的(de)白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)条(tiao)(tiao)纹(wen)不仅包(bao)含了(le)时(shi)域(yu)(yu)白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)条(tiao)(tiao)纹(wen)的(de)所有(you)信(xin)(xin)息，还(hai)包(bao)含了(le)时(shi)域(yu)(yu)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)条(tiao)(tiao)纹(wen)中(zhong)没有(you)的(de)波(bo)长(zhang)(zhang)信(xin)(xin)息。在(zai)频域(yu)(yu)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)中(zhong)，当两束相(xiang)干(gan)(gan)(gan)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程差远(yuan)大(da)于(yu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源的(de)相(xiang)干(gan)(gan)(gan)长(zhang)(zhang)度(du)时(shi)，仍可以在(zai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)仪上观察到(dao)频域(yu)(yu)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)条(tiao)(tiao)纹(wen)。这(zhei)是由(you)于(yu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)仪内部(bu)的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)栅具有(you)分(fen)(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)作用，能够(gou)将(jiang)宽谱(pu)(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)变成窄(zhai)带光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)，从而增(zeng)加了(le)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)的(de)相(xiang)干(gan)(gan)(gan)长(zhang)(zhang)度(du)。这(zhei)一(yi)解(jie)调(diao)技术的(de)优点就是在(zai)整(zheng)个(ge)测量(liang)系统中(zhong)没有(you)使用机械(xie)扫描部(bu)件，从而在(zai)测量(liang)的(de)稳定性(xing)(xing)和(he)可靠性(xing)(xing)上得到(dao)很大(da)的(de)提高。常见(jian)的(de)频域(yu)(yu)解(jie)调(diao)方法有(you)峰(feng)(feng)峰(feng)(feng)值(zhi)检(jian)测法、傅(fu)里叶解(jie)调(diao)法以及傅(fu)里叶变换(huan)白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)解(jie)调(diao)法等。白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)膜厚测量(liang)技术可以通(tong)过对(dui)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)图像的(de)分(fen)(fen)析实现(xian)对(dui)薄膜的(de)表面和(he)内部(bu)结构的(de)联合测量(liang)和(he)分(fen)(fen)析。

论(lun)文主要(yao)以半导体(ti)锗和贵金属金两种材料为对象，研究了(le)(le)白(bai)光(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)法(fa)、表面等离子体(ti)共振(zhen)法(fa)和外(wai)差(cha)(cha)(cha)干(gan)涉(she)(she)法(fa)实现纳(na)米级薄膜(mo)厚(hou)(hou)度(du)(du)准(zhun)确(que)测(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)可(ke)行(xing)性(xing)(xing)。由于不同材料薄膜(mo)的(de)(de)特(te)性(xing)(xing)不同，所适用的(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)方法(fa)也不同。半导体(ti)锗膜(mo)具有(you)折射率(lv)高，在通信波段（1550nm附近(jin)）不透明的(de)(de)特(te)点，选择采用白(bai)光(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)的(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)方法(fa)；而厚(hou)(hou)度(du)(du)更薄的(de)(de)金膜(mo)的(de)(de)折射率(lv)为复(fu)数，且能激发的(de)(de)表面等离子体(ti)效应，因而可(ke)借助基于表面等离子体(ti)共振(zhen)的(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)方法(fa)；为了(le)(le)进一(yi)步改(gai)善(shan)测(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)精(jing)度(du)(du)，论(lun)文还研究了(le)(le)外(wai)差(cha)(cha)(cha)干(gan)涉(she)(she)测(ce)(ce)量(liang)法(fa)，通过引(yin)入高精(jing)度(du)(du)的(de)(de)相位解(jie)调手段，检(jian)测(ce)(ce)P光(guang)(guang)与(yu)S光(guang)(guang)之(zhi)间的(de)(de)相位差(cha)(cha)(cha)提升厚(hou)(hou)度(du)(du)测(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)精(jing)度(du)(du)。白(bai)光(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)膜(mo)厚(hou)(hou)测(ce)(ce)量(liang)技术(shu)可(ke)以对薄膜(mo)的(de)(de)表面和内部进行(xing)联合测(ce)(ce)量(liang)和分析(xi)。张家界国内膜(mo)厚(hou)(hou)仪

白光干涉膜(mo)(mo)厚(hou)测量技(ji)术可以应用于光学传(chuan)感(gan)器中(zhong)的(de)薄膜(mo)(mo)厚(hou)度测量。山东膜(mo)(mo)厚(hou)仪成(cheng)本价

白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)扫(sao)描(miao)干(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)法(fa)(fa)能免除色光(guang)(guang)(guang)(guang)相(xiang)(xiang)移干(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)术测(ce)量的(de)(de)(de)(de)(de)局(ju)限性。白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)扫(sao)描(miao)干(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)法(fa)(fa)采用白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)作(zuo)为(wei)光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)，白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)作(zuo)为(wei)一种宽光(guang)(guang)(guang)(guang)谱的(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)，相(xiang)(xiang)干(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)长度(du)(du)较短，因此(ci)发生干(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)的(de)(de)(de)(de)(de)位(wei)置只能在(zai)很小的(de)(de)(de)(de)(de)空间范围内。而且在(zai)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)时，有(you)(you)一个(ge)确切的(de)(de)(de)(de)(de)零(ling)点位(wei)置。测(ce)量光(guang)(guang)(guang)(guang)和(he)参(can)考(kao)光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)程相(xiang)(xiang)等(deng)时，所(suo)有(you)(you)波段的(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)都(dou)会发生相(xiang)(xiang)长干(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)，这时就(jiu)能观测(ce)到(dao)(dao)有(you)(you)一个(ge)很明亮的(de)(de)(de)(de)(de)零(ling)级(ji)条纹(wen)，同时干(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)信号(hao)也出现最大值(zhi)，通过(guo)分析这个(ge)干(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)信号(hao)，就(jiu)能得到(dao)(dao)表面上对应数据点的(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)对高度(du)(du)，从而得到(dao)(dao)被测(ce)物体的(de)(de)(de)(de)(de)几何形貌。白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)扫(sao)描(miao)干(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)术是(shi)通过(guo)测(ce)量干(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)条纹(wen)来完(wan)成(cheng)的(de)(de)(de)(de)(de)，而干(gan)(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)条纹(wen)的(de)(de)(de)(de)(de)清晰度(du)(du)直接(jie)影(ying)响测(ce)试精度(du)(du)。因此(ci)，为(wei)了提高精度(du)(du)，就(jiu)需要更为(wei)复杂的(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)学系统，这使得条纹(wen)的(de)(de)(de)(de)(de)测(ce)量变成(cheng)一项费力又费时的(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)作(zuo)。山东膜厚仪(yi)成(cheng)本(ben)价

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